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諾發(fā)推出業(yè)界首套UVTP量產(chǎn)系統(tǒng)

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作者：時(shí)間：2006-01-30 來(lái)源：

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諾發(fā)系統(tǒng)有限公司推出了SOLA™—業(yè)界首套針對(duì)先進(jìn)介電薄膜的淀積后處理的紫外熱處理（UVTP）系統(tǒng)。它是實(shí)現(xiàn)晶體管水平高應(yīng)力氮化硅薄膜和互連層致密性或多孔性低–k介電材料等許多先進(jìn)薄膜應(yīng)用的關(guān)鍵設(shè)備，結(jié)合了紫外光與熱處理相，使薄膜材料的淀積后處理可在450

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