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          Veeco發(fā)表用于生產(chǎn)高亮度 LED的MaxBright GaN MOCVD

          作者: 時間:2011-02-11 來源:LEDinside 收藏

            日前,發(fā)表一款新型產(chǎn)品:TurboDisc MaxBright?氮化鎵(GaN)有機金屬化學(xué)氣相沉積法()多反應(yīng)器系統(tǒng),用于生產(chǎn)高亮度 LED。

          本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/116695.htm

            介紹,MaxBright利用的FlowFlange ?集群架構(gòu)自動化技術(shù)在一個模塊化的兩個或四個反應(yīng)器通過組合高通量金屬有機化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器。

            該MaxBright反應(yīng)堆,在K465i的基礎(chǔ)上經(jīng)過生產(chǎn)驗證,既擴大了晶圓的生產(chǎn)能力和,同時保證了均勻性、重復(fù)性和材料的質(zhì)量。MaxBright 系統(tǒng)可提供生產(chǎn)能力達(dá)216 × 2”,56 × 4”,24 × 6”或12 × 8”晶圓。此外,無縫轉(zhuǎn)移MaxBright能使客戶實現(xiàn)快速生產(chǎn)。



          關(guān)鍵詞: Veeco MOCVD

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