AMAT發(fā)布觸摸面板用制造裝置
—— 通過將成膜室增至兩個提高處理能力
美國應(yīng)用材料(AMAT)于當?shù)貢r間2011年4月12日發(fā)布了觸摸面板用濺鍍設(shè)備的新產(chǎn)品“AKT Aristo Twin”。其特點是,1臺設(shè)備中擁有兩個獨立的成膜室,能夠同時分別形成薄膜。處理能力提高到了原來的約2倍。
本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/118774.htm此次的新產(chǎn)品最大支持2200mmx2500mm的基板尺寸。在玻璃基板和硬質(zhì)塑料基板上都可以成膜。該產(chǎn)品是在該公司在全球擁有175臺供貨業(yè)績的彩色濾光片及觸摸面板用濺鍍設(shè)備“AKT New Aristo PVD”的基礎(chǔ)上開發(fā)而來的。
AMAT公司副總裁兼平板顯示事業(yè)部總經(jīng)理Tom Edman表示,此次發(fā)布的觸摸面板用濺鍍設(shè)備“已向中國大陸和臺灣的主要觸摸面板廠家供應(yīng)了數(shù)臺”。
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