華力微電子12英寸全自動(dòng)芯片生產(chǎn)線開始試流片

　　集成電路是信息產(chǎn)業(yè)的核心，也是當(dāng)前國(guó)際高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的焦點(diǎn)之一。29日，由國(guó)資控股的12英寸集成電路生產(chǎn)線項(xiàng)目——華力微電子12英寸全自動(dòng)芯片生產(chǎn)線55納米工藝產(chǎn)品開始試流片，標(biāo)志著這一國(guó)家電子信息產(chǎn)業(yè)的重大工程進(jìn)入了新階段。

　　華力微電子12英寸芯片生產(chǎn)線項(xiàng)目是在上海華虹集團(tuán)8英寸集成電路芯片生產(chǎn)線基礎(chǔ)上的升級(jí)項(xiàng)目，于2010年年初正式啟動(dòng)。項(xiàng)目投資總額135億元人民幣，將建設(shè)成第一條國(guó)資控股、主要面向國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的12英寸集成電路芯片生產(chǎn)線，具備90-65-45納米技術(shù)等級(jí)，月產(chǎn)3.5萬片晶圓，驗(yàn)收后將向更高工藝等級(jí)邁進(jìn)。

　　據(jù)介紹，華力微電子12英寸芯片生產(chǎn)線項(xiàng)目于2010年1月19日啟動(dòng)，于當(dāng)年11月20日實(shí)現(xiàn)了首臺(tái)核心工藝設(shè)備光刻機(jī)的搬入，并在最短的時(shí)間內(nèi)完成了首期月產(chǎn)能1萬片的設(shè)備安裝調(diào)試。本條生產(chǎn)線配備了硅片全自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)，這使得華力微電子成為國(guó)內(nèi)首家實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)生產(chǎn)的12英寸代工企業(yè)。

　　這條規(guī)模大、技術(shù)新的12英寸集成電路生產(chǎn)線在滬“上馬”，也意味著上海國(guó)資控股的集成電路企業(yè)將形成國(guó)際主流的芯片制造業(yè)務(wù)格局，從而具備不同技術(shù)等級(jí)的產(chǎn)品加工能力，可以制造大量國(guó)內(nèi)急需的高端集成電路重要產(chǎn)品，具備承擔(dān)和支持國(guó)家科技重大專項(xiàng)的相應(yīng)能力。