華力微電子12英寸全自動芯片生產(chǎn)線開始試流片

　　集成電路是信息產(chǎn)業(yè)的核心，也是當(dāng)前國際高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)競爭的焦點(diǎn)之一。29日，由國資控股的12英寸集成電路生產(chǎn)線項目——華力微電子12英寸全自動芯片生產(chǎn)線55納米工藝產(chǎn)品開始試流片，標(biāo)志著這一國家電子信息產(chǎn)業(yè)的重大工程進(jìn)入了新階段。

　　華力微電子12英寸芯片生產(chǎn)線項目是在上海華虹集團(tuán)8英寸集成電路芯片生產(chǎn)線基礎(chǔ)上的升級項目，于2010年年初正式啟動。項目投資總額135億元人民幣，將建設(shè)成第一條國資控股、主要面向國內(nèi)市場的12英寸集成電路芯片生產(chǎn)線，具備90-65-45納米技術(shù)等級，月產(chǎn)3.5萬片晶圓，驗收后將向更高工藝等級邁進(jìn)。

　　據(jù)介紹，華力微電子12英寸芯片生產(chǎn)線項目于2010年1月19日啟動，于當(dāng)年11月20日實現(xiàn)了首臺核心工藝設(shè)備光刻機(jī)的搬入，并在最短的時間內(nèi)完成了首期月產(chǎn)能1萬片的設(shè)備安裝調(diào)試。本條生產(chǎn)線配備了硅片全自動搬運(yùn)系統(tǒng)，這使得華力微電子成為國內(nèi)首家實現(xiàn)全自動生產(chǎn)的12英寸代工企業(yè)。

　　這條規(guī)模大、技術(shù)新的12英寸集成電路生產(chǎn)線在滬“上馬”，也意味著上海國資控股的集成電路企業(yè)將形成國際主流的芯片制造業(yè)務(wù)格局，從而具備不同技術(shù)等級的產(chǎn)品加工能力，可以制造大量國內(nèi)急需的高端集成電路重要產(chǎn)品，具備承擔(dān)和支持國家科技重大專項的相應(yīng)能力。