Entegris 在 SEMICON China 上展示晶片和光罩客戶解決方案

　　中國上海/明尼蘇達(dá)州明尼阿波利斯 CHASKA –  2006年 3 月 22日訊 - Entegris, Inc.（納斯達(dá)克：ENTG）將攜其業(yè)界領(lǐng)先的晶片和光罩處理產(chǎn)品參加本周在上海舉行的 SEMICON China 2006 展覽會（3 月 21 日 – 23 日）。Entegris 將在本周的展會上展示其四種領(lǐng)先的產(chǎn)品，它們分別是 300 毫米 FOSB（前面開口傳輸盒）、Spectra™ FOUP （前面開口一體盒）和 SMP 625 單光罩包裝盒以及高級光罩 SMIF 盒。Entegris是凈化、保護和傳輸中國乃至全世界的半導(dǎo)體公司的重要生產(chǎn)材料的全球市場領(lǐng)導(dǎo)者。（太平洋展廳，展位 #566）
　　
　　“Entegris 的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)晶片和光罩處理技術(shù)、產(chǎn)品和服務(wù)正在不斷為客戶提供領(lǐng)先的解決方案，并使他們在中國乃至全世界半導(dǎo)體市場上取得持續(xù)的工藝發(fā)展和成品率改善，”晶片處理部的副總裁 Patrick McKinney 說。

Entegris 300 毫米 FOSB（如下圖所示）

　　隨著 300 毫米晶片處理不斷向全自動晶片傳輸?shù)倪~進(jìn)，Entegris 的 FOSB 包含了可幫助客戶實現(xiàn)工藝一致性和成本節(jié)約的領(lǐng)先技術(shù)。Entegris FOSB 采用獨特的與 FIMS 兼容的門，使工廠能更加高效實現(xiàn)向全自動生產(chǎn)環(huán)境的轉(zhuǎn)變。

ENTEGRIS 在 SEMICON CHINA 上展出晶片處理解決方案

Entegris Spectra™ FOUP （如下圖所示）

　　Spectra™ 采用最新的 300 毫米晶片傳輸先進(jìn)技術(shù)，使客戶能夠達(dá)到先進(jìn)的 90 納米及以下節(jié)點技術(shù)。它與所有的工藝工具和自動化設(shè)備完全兼容，并可獲得最長的正常運行時間。 Spectra™ FOUP 具有經(jīng)過權(quán)威驗證的設(shè)計，可保護晶片免受微粒、空氣傳播分子的污染，比市場上其它任何 FOUP 都能更好地防止沖擊與振動對晶片的影響，確保獲得更高的成品率。 Entegris 現(xiàn)場服務(wù)專家將在客戶現(xiàn)場維護 Spectra™ FOUP。 Spectra™ FOUP 配備先進(jìn)的 ESD 接地，并支持多種識別策略。

Entegris 在 300 毫米晶片領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)和領(lǐng)導(dǎo)能力

　　在包括中國在內(nèi)的全世界范圍內(nèi)，越來越多的晶片生產(chǎn)廠商對開發(fā) 300 毫米晶片表現(xiàn)出極大的興趣和渴望。通過在晶片處理和傳輸方面不斷開發(fā)先進(jìn)的技術(shù)，Entegris 在推動業(yè)界從 200 毫米晶片向 300 毫米晶片邁進(jìn)過程中發(fā)揮了重大的作用。
 
　　Entegris 還為保護和傳輸光罩提供了卓越的技術(shù)解決方案。下面介紹將具有上述特性的兩款產(chǎn)品：
 
Entegris SMP 625 單罩盒（如下圖所示）

　　為使光罩具有最高的性能，傳輸裝置必須保護精密的表面特性，并防止污染源與光罩接觸。Entegris 現(xiàn)在推出了一種先進(jìn)的單罩包裝盒 SMP 625，它為 150 毫米光罩提供了超強保護作用，使代工廠始終保持競爭力。SMP 專門設(shè)計同光罩處理自動裝置兼容，并可安全地集成到現(xiàn)有自動化環(huán)境中，積極改善代工廠的生產(chǎn)效率并降低成本。SMP 625 光罩包裝盒設(shè)計還可保護光罩免受傳輸途中的沖擊和振動的傷害。
 
　　ENTEGRIS 在 SEMICON CHINA 上展示晶片處理解決方案

采用卓越技術(shù)的 Entegris 高級光罩盒（如下圖所示）

　　Entegris 最近推出了其高級光罩盒產(chǎn)品，作為老一代技術(shù)盒的直接替代品。 該新型光罩盒立足于提升生產(chǎn)效率的設(shè)計理念，減少了微粒產(chǎn)生，改善 ESD 接地，并采用簡化的按扣安裝結(jié)構(gòu)，因而具有更高的可靠性。無需對現(xiàn)有設(shè)備進(jìn)行任何更改。 該光罩盒采用無任何金屬部件設(shè)計，這意味著不會造成光罩刮傷或金屬污染。

關(guān)于 ENTEGRIS

　　Entegris是全球物料完好性管理界的領(lǐng)導(dǎo)者 – 凈化、保護和運輸用于高科技產(chǎn)品、程序和服務(wù)的重要材料。 Entegris 和 Mykrolis 于 2005 年 8 月完成合并，創(chuàng)立了新的 Entegris 公司。合并后的公司為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和其它高科技產(chǎn)業(yè)提供技術(shù)、產(chǎn)品和服務(wù)解決方案。Entegris 通過了 ISO 9001 認(rèn)證，在美國、中國、法國、德國、日本、馬來西亞、新加坡、南韓和中國臺灣都已設(shè)立了制造、客戶服務(wù)或科研設(shè)施。其它相關(guān)信息，請登錄 www.entegris.com。