圓微觀世界一個智能的夢想

學(xué)核物理學(xué)專業(yè)的，研究的是微觀的原子核運動，而MEMS系統(tǒng)是微觀的機械運動，用微觀世界的創(chuàng)新圓大眾一個智能世界的夢想。
                                                                          ------ Benedetto Vigna

面對這位來自意大利南部，全世界最大MEMS業(yè)務(wù)部門的掌門人，筆者的第一印象如在拿到簡歷中所得，帶著一身書卷氣。Benedetto Vigna從2001年被委任為MEMS業(yè)務(wù)部門的總監(jiān)，負責(zé)MEMS加速計和陀螺儀的生產(chǎn)和營銷后，利用10年的時間，將這個部門從一個只有十幾個人的小部門提升為現(xiàn)在年銷售額超過6.5億美元的全世界最大MEMS生產(chǎn)制造商。在消費電子和手機領(lǐng)域，意法半導(dǎo)體在MEMS市場的份額正在向70%的市場占有率扎實的邁進。

與很多成功者的經(jīng)驗一樣，站在管理者的角度，Benedetto Vigna總結(jié)了他這些年成功領(lǐng)導(dǎo)意法半導(dǎo)體MEMS事業(yè)部的成功秘訣：團隊很重要；出色的客戶關(guān)系；準確及時的產(chǎn)品和生產(chǎn)投資；服務(wù)質(zhì)量以及敏銳的商業(yè)嗅覺。同樣，他也會強調(diào)那個經(jīng)典的創(chuàng)新公式：創(chuàng)新是專注、資源、執(zhí)行力和創(chuàng)造力相乘的結(jié)果，有一項沒有做好，最終的結(jié)果就是零。不過，在訪談里，筆者還是發(fā)現(xiàn)了很多意法半導(dǎo)體在MEMS領(lǐng)域成功的特別之處。

成功源于專注

談及十年之路的成功心得，Benedetto Vigna的回答出人意料，“我只是習(xí)慣于把精力專注于一個點上”，的確，當時的意法半導(dǎo)體在這個業(yè)務(wù)部門雖然只有不到15個人，面臨著在多個產(chǎn)品線方向上如何抉擇的問題。“當時我選定了放棄其他的產(chǎn)品，專注做好三軸加速度傳感器這一個，面向的領(lǐng)域則是消費電子產(chǎn)品”，正是從這個三軸加速度傳感器開始，意法半導(dǎo)體一步步攀登到了MEMS產(chǎn)業(yè)的制高點。

現(xiàn)在，Benedetto Vigna掌管的已經(jīng)不再是十幾個人，一個產(chǎn)品，而是一個全世界最大的MEMS業(yè)務(wù)部門，面對這樣的情況，如何繼續(xù)把自己專注于一點？Benedetto Vigna微微一笑，“現(xiàn)在我專注的是管理好整個團隊，至于每個產(chǎn)品線，我依然會讓不同的人去專門進行繼續(xù)的跟蹤，確保每組人都將精力放在自己負責(zé)的產(chǎn)品這一點上，我們就會確保足夠的領(lǐng)先優(yōu)勢。”

說起專注，筆者繼續(xù)追問，既然意法半導(dǎo)體在消費電子領(lǐng)域已經(jīng)擁有足夠多的市場統(tǒng)治力，下一步的市場拓展計劃是哪個領(lǐng)域？Benedetto Vigna給出的結(jié)果繼續(xù)出人意料：“consumer”，這個對專注原則的堅守如同原子核般堅固的意大利人表示，“消費電子領(lǐng)域還有很多機會，MEMS傳感器品種越來越多，更多的應(yīng)用等待著MEMS去改變用戶體驗以及創(chuàng)新出更多的需求，對意法半導(dǎo)體而言，這個市場有足夠廣闊的空間等著我們?nèi)屨?，我們不需要考慮太多其他”。

堅信技術(shù)優(yōu)勢

在消費電子用MEMS領(lǐng)域，意法半導(dǎo)體做到了高處不勝寒的領(lǐng)導(dǎo)地位，這一切只用了不到10年的時間，在談到是什么讓意法半導(dǎo)體在眾多競爭對手中脫穎而出時，Benedetto Vigna用堅定的語氣表達出對技術(shù)的推崇。“意法半導(dǎo)體的MEMS業(yè)務(wù)在過去的5年中，從只有3千萬美金，一下增長到去年的6.5個億美金，增長速度非常驚人，最關(guān)鍵的競爭力就是我們的專利， IP支撐我們在過去幾年里面達到了這樣一個效果。”

專利，是技術(shù)實力積累重要的表現(xiàn)，更是最能體現(xiàn)企業(yè)技術(shù)競爭優(yōu)勢之處。很多競爭對手在談到意法半導(dǎo)體在MEMS上的競爭力時，不得不承認，意法是能夠提供全部MEMS傳感器產(chǎn)品和涉足全部產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)，是最大的競爭優(yōu)勢。“以大約600項MEMS相關(guān)專利位居技術(shù)發(fā)展的最前沿。意法半導(dǎo)體能夠為客戶提供所需的和想要的所有產(chǎn)品、知識資產(chǎn)、傳感器融合軟件、制造技術(shù)竅門和其它技能” Benedetto Vigna每句話都流露出對自己掌管的這個部門在技術(shù)上的領(lǐng)先優(yōu)勢的自豪感。

技術(shù)優(yōu)勢直接給意法半導(dǎo)體在爭奪客戶時的領(lǐng)先位置，作為第一個大規(guī)模應(yīng)用MEMS技術(shù)的消費電子產(chǎn)品，任天堂的Wii游戲機當年改變了很多人的游戲觀念，而其中應(yīng)用的MEMS三軸加速度傳感器就是意法半導(dǎo)體提供的。Benedetto Vigna很愿意談?wù)撨@場對意法半導(dǎo)體甚至是整個MEMS在消費電子應(yīng)用上里程碑式的勝利，“只有好的技術(shù)、好的制程，才能有高性能的產(chǎn)品。”“當時日本有三家企業(yè)做相關(guān)的加速度傳感器，他們都是采用壓電技術(shù)，技術(shù)很成熟，但任天堂希望創(chuàng)造完全不同的體驗，而相比于壓電傳感器有價格高、受溫度影響大以及不支持3軸等不足，意法半導(dǎo)體通過先進的硅工藝實現(xiàn)的更具競爭力系統(tǒng)成本和更為可靠龐大的供應(yīng)能力拿下了訂單”。

制造與工藝是自信源泉

“機械、模擬和封裝，MEMS最重要的三大部分，從公司發(fā)展MEMS就一開始著手在這三大塊投入我們精力，開發(fā)相應(yīng)的IP，做到工藝上的提升，產(chǎn)品上的優(yōu)化，我們是真正控制整個產(chǎn)品從開發(fā)到后端的開發(fā)鏈在這邊。”在Benedetto Vigna的訪談中，另一個他非常自豪的優(yōu)勢是制造， “除了很好的設(shè)計，我們不單單在半導(dǎo)體里面做原型機，我們有很好的制造工藝支撐整個產(chǎn)品投放市場。”

的確，2006年，意法半導(dǎo)體在意大利Agrate地區(qū)建立了一條MEMS器件專用200mm (8英寸)晶圓生產(chǎn)線，成為世界首個擁有MEMS專用生產(chǎn)線的大型半導(dǎo)體公司。這一有魄力的舉動大幅降低了產(chǎn)品的單位成本，并加快了現(xiàn)有應(yīng)用領(lǐng)域擴大和新市場開發(fā)，進一步加強了意法半導(dǎo)體在MEMS市場上的核心競爭力。

更為重要的是，工藝和制造的優(yōu)勢讓意法半導(dǎo)體在產(chǎn)業(yè)鏈競爭中始終處于領(lǐng)先位置。一方面，因為有了制造和工藝的優(yōu)勢，意法半導(dǎo)體可以在產(chǎn)品規(guī)劃上完全按照預(yù)定路線實現(xiàn)，比如產(chǎn)品封裝可以從2006年的5*7mm2，一步步縮減到現(xiàn)在的2*2mm2，面積減少為之前的十分之一。另一方面，工藝的優(yōu)勢讓意法的產(chǎn)品擁有競爭對手無法比擬的技術(shù)優(yōu)勢，“MEMS產(chǎn)品機械部分有一定厚度的，機械部分我們不是用傳統(tǒng)工藝做的，而是選擇開發(fā)出了微致動器和加速計芯片厚外延層（ThELMA）工藝，這個0.8微米表面微加工技術(shù)可整合薄厚不一的多晶硅層，用于實現(xiàn)MEMS器件的結(jié)構(gòu)和互連線，這樣可以很好做3D的封裝，把產(chǎn)品做得更小更薄這樣的技術(shù)。”除了ThELMA外，Benedetto Vigna還提到了硅通孔（TSV）技術(shù)，“我們還采用TSV技術(shù)達到100微米，真正可以在正面和反面進行連接，目前來講，在行業(yè)內(nèi)只有意法半導(dǎo)體可以做到這樣的工藝，從另外一個角度證明意法半導(dǎo)體保持整個市場的領(lǐng)導(dǎo)地位。而VENSENS工藝(VENice process for SENSors)結(jié)合 ThELMA工藝，可以在一個單晶硅芯片內(nèi)整合一個空腔，制造一個尺寸和性能優(yōu)異的壓力傳感器，使芯片變得更薄、更小，熱穩(wěn)定性和可靠性更高。”

昨天，今天和明天

技術(shù)優(yōu)勢和制造優(yōu)勢，造就了意法半導(dǎo)體在MEMS市場的領(lǐng)導(dǎo)地位，意法半導(dǎo)體在2005年真正進入這個市場時，MEMS因為厚度大和功耗高問題，僅能在汽車等部分狹窄應(yīng)用中出現(xiàn)，但是應(yīng)用領(lǐng)域非常小，僅是在汽車里面有相關(guān)應(yīng)用。“意法半導(dǎo)體改變了這樣的情形，把它做的尺寸更小、厚度更薄、功耗更低，可以應(yīng)用在消費類電子里面，這是我們真正改變了MEMS在半導(dǎo)體行業(yè)里面的一個位置。” Benedetto Vigna回憶時眼中充滿著懷念和愉快。
 
意法半導(dǎo)體掀起了MEMS消費電子化的浪潮，第一波大規(guī)模應(yīng)用是PC相關(guān)和游戲機，MEMS所做主要是提升人機界面，更加直觀，它更像一個手持的控制器，帶給人機界面互動性是一個非常大的飛躍。隨后第二波開始影響的是智能機和平板電腦，這也是現(xiàn)在的主要增長點，三個非常重要的應(yīng)用，會推動這個增長。第一是相機防抖應(yīng)用，第二個就是基于位置服務(wù)的應(yīng)用，第三個就是遙控的一些監(jiān)測，首先是防抖技術(shù)，怎么讓照拍的更清晰，MEMS可以提升這方面質(zhì)量。第二個，基于位置服務(wù)，大家到一個陌生的地方要去找一樣?xùn)|西，看具體信息，“有了motion sensor在里面，基于這個服務(wù)，讓你看到的東西，你要什么信息都可以提供給你。還有遙控的一些監(jiān)測，健身，其他運動有MEMS在里面可以更好提供一些反饋的數(shù)據(jù)給你，你的鍛煉量怎么樣，都是基于MEMS的引入，可以推動這一波快速增長起來。”針對這些，意法半導(dǎo)體可以將三個不同類型的傳感器封裝在同一個封裝里面，而通過不同傳感器組合的選擇，能夠?qū)崿F(xiàn)不同的應(yīng)用功能。特別是iNEMO平臺的誕生，意法半導(dǎo)體將傳感器平臺智能化，提供給客戶不同選擇進行個性化開發(fā)。

暢想MEMS在消費電子中的未來，Benedetto Vigna認為MEMS傳感器是時候該做點更讓人驚奇的事情了，那就是增強實景甚至讓傳感器能完全感受到人體的任何細微變化，“誰不想體驗身臨其境真實感受，面對能讓你感受到親臨現(xiàn)場的游戲，誰都拒絕不了這種誘惑” Benedetto Vigna給了MEMS傳感器賦予了一個極為誘人又正在不斷實現(xiàn)的全新使命，而那種真實的身臨其境的體驗，不正是許多人夢寐以求的享受么？

這一切，我們期待著微觀世界中的MEMS給我們真正的奇跡！