EDWARDS發(fā)布全新真空鎖室泵系列

　　全球領(lǐng)先的尖端真空設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相應(yīng)增值服務(wù)供應(yīng)商Edwards公司宣布推出全新iXL250Q和iXL750Q干泵。新推出的干泵設(shè)備，加上已有的iXL500Q干泵，涵蓋了平板顯示器(flat panel display，FPD)和太陽能制造市場(chǎng)領(lǐng)域中的全系列抽空要求，包括從較小的第四代FPD制造中的真空鎖室泵直到第八代或第十代FPD制造中的最大型真空鎖室泵。在2012年7月10-12日于美國加利福尼亞州舊金山舉辦的InterSolar博覽會(huì)，Edwards公司將在北廳(North Hall)的 5351號(hào)展臺(tái)展出該設(shè)備，敬請(qǐng)參觀以了解有關(guān)iXL系列的更多信息。

　　這些性能領(lǐng)先的真空泵設(shè)計(jì)用于使基底產(chǎn)出率最大化，同時(shí)使功率、占位面積和重量降到最低。另外，在檢修間隔期間無需維護(hù)。所有的真空泵均具備“綠色”工作模式，能夠在待機(jī)期間以更低的功率運(yùn)行，從而有很大的潛力來降低運(yùn)營成本。

　　Edwards公司FPD干泵高級(jí)產(chǎn)品經(jīng)理Allister Watson博士稱：“把總體擁有成本降至最低是Edwards與客戶共同的優(yōu)先考慮事項(xiàng)。我們注重引導(dǎo)客戶根據(jù)其要求來選擇最高效的設(shè)備。新型iXL干泵進(jìn)一步擴(kuò)展了我們的產(chǎn)品組合，因而我們能夠?yàn)榭蛻籼峁┬时M可能高的方法，以最低的成本實(shí)現(xiàn)最優(yōu)化的性能。”　　

　　特定體積工藝室的抽空時(shí)間主要取決于泵在接近大氣壓力時(shí)的可用抽速。正如產(chǎn)品名稱所提示，iXL250Q、iXL500Q和iXL750Q在大氣壓力附近提供大約250 m3/h、500 m3/h和750 m3/h的抽速。iXL250Q目標(biāo)是較小的工藝室，它們用于較早一代FPD(例如第四代)制造，而iXL500Q和iXL750Q則更適合較大的工藝室，可在第八代和第十代FPD制造中使用。

　　Edwards公司新型iXL泵系列現(xiàn)在可以供貨。