EDWARDS發(fā)布用于LED和化合物半導(dǎo)體制造的新型真空泵

　　全球領(lǐng)先的高精真空設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相應(yīng)增值服務(wù)供應(yīng)商Edwards公司宣布推出新的iXH645H干泵，新設(shè)備經(jīng)過(guò)優(yōu)化，適用于LED制造中使用的MOCVD工藝，以及在柵堆疊(gate stack)中使用III-V材料的化合物半導(dǎo)體制造工藝。請(qǐng)參觀Edwards公司在InterSolar展會(huì)和SEMICON/West展會(huì)的5351號(hào)展臺(tái)，以便了解有關(guān)iXH系列的更多信息。上述兩個(gè)展會(huì)將于2012年7月10-12日在美國(guó)加利福尼亞州舊金山舉辦。

　　iXH645H提供了非常高的氣流量，并能夠在最新一代LED制造設(shè)備所需的高負(fù)載下連續(xù)工作。iXH系列干泵采用先進(jìn)的技術(shù)，最大限度地減少了維護(hù)需求，并實(shí)現(xiàn)正常運(yùn)行時(shí)間最大化，有助于降低成本?！　?/p>

　　Edwards公司LED市場(chǎng)經(jīng)理邵偉稱：“iXH系列干泵的新成員是設(shè)計(jì)用于滿足兩個(gè)快速發(fā)展的高技術(shù)制造細(xì)分市場(chǎng)的需求。由于具備出色的照明效率，LED照明產(chǎn)品逐漸被視為白熾燈照明的環(huán)保替代選擇，我們看到，中國(guó)、韓國(guó)、日本和英國(guó)最近通過(guò)立法，將逐步淘汰傳統(tǒng)的大功率照明產(chǎn)品。”

　　邵偉補(bǔ)充道：“同時(shí)，在化合物半導(dǎo)體制造中使用III-V材料，正在推動(dòng)摩爾定律(Moore’s Law)延續(xù)到下一代設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)。”

　　LED和化合物半導(dǎo)體制造工藝通常使用大流量氕氣和高腐蝕性氨氣。iXH645H業(yè)已進(jìn)行設(shè)計(jì)優(yōu)化以滿足這些要求，具有出色的氫氣抽空性能并采用耐腐蝕設(shè)計(jì)，包括一個(gè)保護(hù)泵密封物的專利氮?dú)獯祾咂琳?purge barrier)。XH645泵具有高溫工作能力，有助于防止可能出現(xiàn)的磷化合物冷凝。另外，該泵先進(jìn)的油潤(rùn)滑和密封技術(shù)省去了定期保養(yǎng)需求，同時(shí)其散熱和電機(jī)設(shè)計(jì)可以防止出現(xiàn)過(guò)熱、電機(jī)過(guò)載或工作區(qū)域受限等問(wèn)題。iXH645H泵的優(yōu)化溫度控制系統(tǒng)確保泵在約30分鐘啟動(dòng)時(shí)間內(nèi)為工藝做好準(zhǔn)備。