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          國產(chǎn)首臺套LED核心裝備成功下線

          —— 為下一步投入市場、大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化奠定了基礎(chǔ)
          作者: 時間:2012-12-16 來源:電子信息產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 收藏

            上海有限公司研制開發(fā)的核心制造裝備——— 金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積()設(shè)備日前成功下線,該公司已與我國臺灣一家光電公司簽訂了37臺套設(shè)備應(yīng)用驗(yàn)證合同,為下一步投入市場、大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化奠定了基礎(chǔ)。

          本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/140126.htm

            作為重要的新型綠色光源產(chǎn)品,設(shè)備是整個照明產(chǎn)業(yè)鏈中最關(guān)鍵的制造裝備,其設(shè)備成本占整個芯片設(shè)備成本的50%左右。由于技術(shù)含量高,制造工藝復(fù)雜,目前全球的設(shè)備市場主要被國外兩家設(shè)備供應(yīng)商所壟斷。

            上海設(shè)備有限公司利用不到兩年的時間自主研制了具有單腔產(chǎn)能84片2英寸外延片的單腔體MOCVD反應(yīng)腔,以及3腔體252片產(chǎn)能的簇式多腔體自動化MOCVD系統(tǒng),突破了國外同類MOCVD裝備的技術(shù)開發(fā)壁壘。



          關(guān)鍵詞: 理想能源 LED MOCVD

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