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          國產首臺套LED核心裝備成功下線

          —— 為下一步投入市場、大規(guī)模產業(yè)化奠定了基礎
          作者: 時間:2012-12-16 來源:電子信息產業(yè)網 收藏

            上海有限公司研制開發(fā)的核心制造裝備——— 金屬有機物化學氣相沉積()設備日前成功下線,該公司已與我國臺灣一家光電公司簽訂了37臺套設備應用驗證合同,為下一步投入市場、大規(guī)模產業(yè)化奠定了基礎。

          本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/140126.htm

            作為重要的新型綠色光源產品,設備是整個照明產業(yè)鏈中最關鍵的制造裝備,其設備成本占整個芯片設備成本的50%左右。由于技術含量高,制造工藝復雜,目前全球的設備市場主要被國外兩家設備供應商所壟斷。

            上海設備有限公司利用不到兩年的時間自主研制了具有單腔產能84片2英寸外延片的單腔體MOCVD反應腔,以及3腔體252片產能的簇式多腔體自動化MOCVD系統(tǒng),突破了國外同類MOCVD裝備的技術開發(fā)壁壘。



          關鍵詞: 理想能源 LED MOCVD

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