基于ARM的擴(kuò)散／氧化控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

　　在本系統(tǒng)中使用晶閘管控制的電阻絲給擴(kuò)散／氧化爐加溫，為了防止市電對(duì)系統(tǒng)的影響，必須使用光電隔離器隔離本系統(tǒng)與市電的連接。

圖2 ILC7135 A／D轉(zhuǎn)換原理圖

　　2.3 氣路系統(tǒng)和推拉舟系統(tǒng)的硬件設(shè)計(jì)

　　在擴(kuò)散／氧化工藝中，根據(jù)工藝的不同需要通入4種不同種類和質(zhì)量的氣體。所以在氣路控制系統(tǒng)中，需要4路開(kāi)關(guān)量控制4種不同氣體的通斷，以及4路模擬量控制氣體質(zhì)量流量計(jì)。質(zhì)量流量計(jì)能夠輸出4 mA～20 mA或0～5 V的氣體質(zhì)量信號(hào)，在控制精度要求不高的系統(tǒng)中，可以不理會(huì)質(zhì)量流量計(jì)輸出的氣體質(zhì)量信號(hào)，為了保證控制精度，可以采集氣體質(zhì)量信號(hào)。

　　在4路開(kāi)關(guān)量控制中，可以使用繼電器控制通斷。

　　在4路模擬量控制氣體質(zhì)量流量計(jì)中，需要4路D／A轉(zhuǎn)換。根據(jù)控制精度的要求，選用12位的D／A芯片DAC1230，因?yàn)榭刂菩盘?hào)為電壓信號(hào)，所以需要把電流信號(hào)轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)。圖3即為氣路控制系統(tǒng)D／A轉(zhuǎn)換原理圖。

圖3 氣路控制系統(tǒng)D／A轉(zhuǎn)換原理圖