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          基于ARM的擴散/氧化控制系統(tǒng)的設計

          作者: 時間:2010-11-15 來源:網(wǎng)絡 收藏

            在本系統(tǒng)中使用晶閘管控制的電阻絲給擴散/氧化爐加溫,為了防止市電對系統(tǒng)的影響,必須使用光電隔離器隔離本系統(tǒng)與市電的連接。


          圖2 ILC7135 轉換原理圖

            2.3 氣路系統(tǒng)和推拉舟系統(tǒng)的硬件設計

            在擴散/氧化工藝中,根據(jù)工藝的不同需要通入4種不同種類和質量的氣體。所以在氣路控制系統(tǒng)中,需要4路開關量控制4種不同氣體的通斷,以及4路模擬量控制氣體質量流量計。質量流量計能夠輸出4 mA~20 mA或0~5 V的氣體質量信號,在控制精度要求不高的系統(tǒng)中,可以不理會質量流量計輸出的氣體質量信號,為了保證控制精度,可以采集氣體質量信號。

            在4路開關量控制中,可以使用繼電器控制通斷。

            在4路模擬量控制氣體質量流量計中,需要4路D/A轉換。根據(jù)控制精度的要求,選用12位的D/A芯片DAC1230,因為控制信號為電壓信號,所以需要把電流信號轉換成電壓信號。圖3即為氣路控制系統(tǒng)D/A轉換原理圖。


          圖3 氣路控制系統(tǒng)D/A轉換原理圖

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