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          ALD中射頻阻抗匹配器的設(shè)計(jì)與研究
          
						
          
				作者：
				時(shí)間：2012-05-31
				來(lái)源：網(wǎng)絡(luò)
				
				
				
				
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           ALD中負(fù)載線圈是一個(gè)匝數(shù)為4，直徑為120 mm的電感線圈。使用阻抗分析儀測(cè)得其電感量為1 900 nH。利用ADS軟件中的Smith圓圖功能調(diào)整匹配網(wǎng)絡(luò)的參數(shù)值，把電路模型的阻抗調(diào)整到Smith圓圖的中心點(diǎn)，即特性阻抗50 Ω，得到的結(jié)果如圖2所示。此時(shí)得到一組阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)參數(shù)可用于沒(méi)有產(chǎn)生等離子體的情況，如表1中等離子體產(chǎn)生前狀態(tài)的參數(shù)值所示。
          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/154774.htm
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