社會智能化帶動MEMS傳感器技術(shù)轉(zhuǎn)型

　　中國物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心副主任陳大鵬介紹，MEMS技術(shù)是物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)鏈中不可或缺的一環(huán)，但由于傳感器行業(yè)技術(shù)門檻較高，從事傳感器研發(fā)的創(chuàng)新公司盡管擁有部分核心技術(shù)，但規(guī)模小，沒有生產(chǎn)能力，再加上國內(nèi)缺乏開放、專業(yè)的生產(chǎn)平臺，大部分傳感器產(chǎn)品處于原型研制、試制或小批量生產(chǎn)階段，在與國外公司的競爭中處于劣勢。

　　目前MEMS市場的主導(dǎo)產(chǎn)品為壓力傳感器、加速度計、微陀螺儀、墨水噴咀和硬盤驅(qū)動頭等。大多數(shù)工業(yè)觀察家預(yù)測，未來5年MEMS器件的銷售額將呈迅速增長之勢，年平均增加率約為18%，因此對機械電子工程、精密機械及儀器、半導(dǎo)體物理等學(xué)科的發(fā)展提供了極好的機遇和嚴峻的挑戰(zhàn)。

　　MEMS傳感器技術(shù)隨著信息技術(shù)發(fā)展要求變得更加嚴格，全球的MEMS傳感器市場隨著平板電腦以及手機的強勁增長變得緩慢下來。受全球經(jīng)濟疲軟影響，全球MEMS傳感器市場增長速度放緩，預(yù)計未來幾年將保持年均8%的復(fù)合增長率;主要增長動力來自于消費電子領(lǐng)域特別是手機領(lǐng)域，汽車電子領(lǐng)域增幅有所放緩;未來幾年平板電腦和智能手機領(lǐng)域的MEMS傳感器應(yīng)用仍將保持強勁增長，但產(chǎn)品零售價有逐步下降趨勢。

　　隨著我國汽車電子、新型數(shù)字消費電子和醫(yī)療電子等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，國內(nèi)市場對傳感器的需求呈現(xiàn)出快速增長的態(tài)勢。據(jù)中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院預(yù)測，未來五年國內(nèi)傳感器市場年復(fù)合增長率將超30%。汽車、物流、礦業(yè)探勘、煤礦安監(jiān)、安防、RFID標簽卡領(lǐng)域的傳感器市場增長較快?？傮w來看，中國傳感器市場前景廣闊。

　　在此背景下，以MEMS為代表的智能傳感器技術(shù)得到了快速的發(fā)展。與傳統(tǒng)的傳感器技術(shù)相比，MEMS體積小、重量輕、成本低、能耗低、可靠性高、易于批量生產(chǎn)、智能化高?，F(xiàn)在正處于高速發(fā)展期MEMS技術(shù)在未來的發(fā)展主要表現(xiàn)在以下幾個方面：

　　第一，微型化的同時降低功耗。將會出現(xiàn)微米甚至納米級別的微型器件，同時降低功耗;第二，微型化的同時提高精度，將MEMS加速度計做到石英加速度計的噪聲特性，保證MEMS陀螺儀小體積的同時獲得光纖陀螺儀的零偏穩(wěn)定性，且可提供遠優(yōu)于光纖陀螺儀的抗沖擊特性;第三，集成化及智能化趨勢，即MEMS與IC的集成制造技術(shù)及多參量MEMS傳感器的集成制造技術(shù)得到發(fā)展，以及在集成化基礎(chǔ)上使得信號檢測具有一定的自動化。這些趨勢要求半導(dǎo)體廠商提供更高精度、穩(wěn)定性更好、更智能的高集成度MEMS傳感器模塊。

　　在平板電腦以及智能手機市場的帶動下，市場份額不斷上升，當(dāng)然這些傳感技術(shù)的消費不少來源全球以及我國市場的調(diào)整。在我國受全球經(jīng)濟疲軟以及國家謹慎的宏觀政策影響，2011年我國MEMS傳感器市場增速出現(xiàn)放緩的跡象，但仍明顯高于全球增速，我國MEMS傳感器市場如今增速放緩，發(fā)展態(tài)勢良好。這些穩(wěn)定的發(fā)展得力于MEMS傳感器在消費產(chǎn)品中的滲透率得到了進一步提高。

　　雖然我國有穩(wěn)定扎實的傳感器市場，但作為傳感器企業(yè)更多的應(yīng)該認清楚MEMS傳感器技術(shù)的發(fā)展方向。首先傳感器的技術(shù)是需要向高精度發(fā)展，類似如何去對傳感器檢測的精確制導(dǎo)，再者我們的傳感器是要向高可靠性、寬溫度范圍，以及微型化發(fā)展，各種便攜設(shè)備上應(yīng)用的傳感器更多就該去考慮這幾個方面。最后我們的傳感器技術(shù)還是向微功耗及無源化，向網(wǎng)絡(luò)化發(fā)展，與無線技術(shù)結(jié)合，向智能化數(shù)字化發(fā)展，與CPU等結(jié)合，科技發(fā)展的一個方向也是取決這些方面，能源的控制以及智能化的結(jié)合都是MEMS傳感器技術(shù)的必要。

　　有關(guān)機構(gòu)預(yù)測，在未來6年，MEMS都將保持兩位數(shù)的穩(wěn)定增長：營收的復(fù)合年增長率約為20%，出貨量的復(fù)合年增長率約為13%，到2017年全球MEMS市場規(guī)?？蛇_210億美元。