基于模型識(shí)別技術(shù)的高溫微型壓力傳感器
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擬合參數(shù)最大時(shí)為5. 037 ×10 - 8 ,最大相對誤差為0. 78 %。當(dāng)溫度變化時(shí),金屬鉑電阻值發(fā)生變化,在不同的溫度下擬合的電容值和溫度的關(guān)系如表1 所示(加入1 %的白噪聲) 。
從表1 可見,擬合的電容誤差小于1 %。由此可見,在不同的時(shí)刻測得UO ( t) ,通過曲線擬合得出參數(shù)RC。再給電路加小信號直流電源,測出R 值,即求得C ,通過C 值則可知被測環(huán)境的壓力。圖5為350 ℃時(shí),不同的壓力所對應(yīng)的電容的理論值和實(shí)驗(yàn)值,從實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)(表2) 可得,在測壓的過程中,利用模型識(shí)別的方法,誤差較小,其測壓誤差小于2 %。
3 結(jié)束語
基于模型識(shí)別技術(shù)的高溫微型壓力傳感器電路簡單、工藝成本較低、體積小、可批量生產(chǎn)、準(zhǔn)確度高。該傳感器避免了電阻式高溫壓力傳感器的自補(bǔ)償電路在高溫環(huán)境下工作時(shí)熱靈敏度漂移引起的誤差,也避免了其它電容式高溫壓力傳感器非線性補(bǔ)償電路在高溫環(huán)境下工作。該傳感器適合在各種高溫環(huán)境下測量氣體或液體的壓力。
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