傳感器及檢測技術(shù)的發(fā)展

傳感器及檢測技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)代信息技術(shù)的三大支柱是傳感器技術(shù)、通信技術(shù)和計算機技術(shù), 它們分別完成對被測量的信息提取、信息傳輸及信息處理。目前, 信息傳輸與處理技術(shù)已取得突破性進展, 然而傳感器的發(fā)展相對滯后。在今天信息時代, 各種控制系統(tǒng)對自動化程度、復(fù)雜性以及環(huán)境適應(yīng)性(如高溫、高速、野外、地下、高空等)的要求越來越高, 需要獲取的信息量也越來越多,它不僅對傳感器測量精度、響應(yīng)速度、可靠性提出了很高的要求, 而且需求信號遠距離傳輸。

.新型傳感器的開發(fā)這是發(fā)展高性能、高功能、低成本和小型化傳感器的重要途徑。制作此類傳感器是利用各種物理、化學(xué)效應(yīng)和定律。新型傳感器層出不窮，如利用量子力學(xué)諸效應(yīng)研制的高靈敏閥傳感器，響應(yīng)速度極快的紅外傳感器，光纖傳感器等。高靈敏閥傳感器可用來檢測極微弱的信號，紅外傳感器是利用光子滯后效應(yīng)制作的，有響應(yīng)速度極快的優(yōu)點。

.傳感器的集成化

傳感器的集成化是利用集成電路制作技術(shù)和微機械加工技術(shù)將多個功能相同、功能相近或功能不同的傳感器件集成為一維線型傳感器或二維面型(陣列)傳感器；或利用微電子電路制作技術(shù)和微型計算機接口技術(shù)將傳感器與信號調(diào)理、補償?shù)入娐芳稍谕恍酒?。前一種集成具體

可分為三種類型：

1. 將多個功能相同的敏感元件集成在同一芯片上，檢測被測量的線狀、面狀、甚至體狀的分布信息。

2. 將多個結(jié)構(gòu)相似、功能相近的敏感元件集成在同一芯片上，在保證測量精度下擴大傳感器的測量范圍。

3. 將多個不同功能的敏感元件集成在同一芯片上，使傳感器能測量不同性質(zhì)的參數(shù)，實現(xiàn)綜合檢測。微傳感器一般是指敏感元件的特征尺寸從幾μm到幾mm的這類傳感器的總稱, 它包括三種結(jié)構(gòu)形式：

1、微型傳感器，通常它是單一功能的簡單傳感器，其敏感元件工藝一般與集成工藝兼容。

2、具有微機械結(jié)構(gòu)敏感元件的機電一體化的微結(jié)構(gòu)傳感器。

3、具有數(shù)字接口、自檢、EPROM (CPU)、數(shù)字補償和總線兼容等功能的微傳感器系統(tǒng)。

.傳感器的智能化、網(wǎng)絡(luò)化智能傳感器系統(tǒng)采用微機械加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路技術(shù)，利用硅作為基本材料制作敏感元件、信號處理電路、微處理器單元，并把它們集成在一塊芯片上，故又稱

集成智能傳感器(Integrated Smart/ Intelligent Sensor)。智能傳感器系統(tǒng)具有自檢測、自補償、自校正、自診斷、遠程設(shè)定、狀態(tài)組令、信息儲存和記憶等功能。

.檢測技術(shù)的發(fā)展

隨著世界各國現(xiàn)代化步伐的加快，對檢測技術(shù)的要求越來越高。目前，現(xiàn)代檢測技術(shù)發(fā)展的總趨勢大體有以下幾個方面：

1. 不斷拓展測量范圍，努力提高檢測精度和可靠性

2. 傳感器逐漸向集成化、組合式、數(shù)字化方向發(fā)展

3. 重視非接觸式檢測技術(shù)研究

3. 檢測系統(tǒng)智能化