MEMS壓力傳感器綜合性能分析

MEMS壓力傳感器是基于 MEMS（微機電）技術，建立在微米/納米基礎上，在單晶硅片上刻融制作惠斯登電橋組成的硅應變計，這樣制造的壓力傳感器具有輸出靈敏度高，性能穩(wěn)定，批量可靠性、重復性好等優(yōu)點。下面從傳感器的制作工藝、結構兩方面分析一下MEMS壓力傳感器綜合性能。

先進的制作工藝

經500℃以上高溫熔化玻璃，將硅應變片燒結在17－4PH不銹鋼傳感彈性體上，彈性體受壓變形后產生電信號，由帶微處理器的數(shù)字補償放大電路進行放大，經數(shù)字軟件進行全智能溫度補償，輸出標準信號。在標準凈化生產過程中，參數(shù)嚴格受控，避免了溫度、濕度及機械疲勞的影響，具有頻響高、工作溫度寬等特點，保證了傳感器在工業(yè)惡劣環(huán)境中使用的長期穩(wěn)定性。

智能數(shù)字溫度補償電路將溫度變化劃分為若干小區(qū)間，每一個小區(qū)間的零位和補償值都被分別寫入補償電路中，在使用中，這些值被寫入受溫度影響的模擬量輸出路徑中，每一個溫度點都是該變送器的“校準溫度”。

傳感器數(shù)字電路針對射頻、電磁干擾、浪涌電壓的工況進行精心設計，具有抗干擾能力強，供電范圍寬、極性保護等特點。

可靠的結構

壓力腔體采用進口17－4PH不銹鋼整體加工，無O型圈、無焊縫，無泄漏隱患。傳感器過載能力為200%FS，破壞壓力為500%FS，適應高壓力過載。針對液壓系統(tǒng)可能產生的瞬間壓力突變，傳感器內置阻尼保護裝置，能有效抵御瞬間壓力沖擊。

因此，MEMS壓力傳感器具有輸出靈敏度高、性能穩(wěn)定、體積小巧、環(huán)境適應性強、重復性好等綜合性能，這也是它廣泛應用于各領域的基本原因。