壓電式微壓傳感器靈敏度的測量方案
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為檢測測量系統(tǒng)的重復(fù)性,實(shí)驗(yàn)對1#傳感器進(jìn)行了重復(fù)測量,圖3示出2次測量的靈敏度變化曲線。
本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/162818.htm
圖3 1#傳感器兩次靈敏度測量曲線
3 結(jié)論
(1)采用均勻聲腔硅油介質(zhì)中傳播的聲波作為壓力源,用比較法比較標(biāo)準(zhǔn)傳感器和被測傳感器的輸出,可有效地測量壓電式微壓傳感器的靈敏度及頻率響應(yīng)特性。3只傳感器的測量靈敏度分別為3.05,2.98,2.98mV/Pa,靈敏度波動小于0.5mV/Pa,頻率響應(yīng)范圍為20～2000Hz。
(2)從圖4可看出:油腔波動聲壓測量系統(tǒng)同一樣品的2次測量數(shù)據(jù)(靈敏度及頻率響應(yīng)范圍)重復(fù)性較好,偏差小于0.24mV/Pa。由于測量介質(zhì)為硅油,每個樣品需置于硅油中測試,測完后需進(jìn)行清洗,使用不便。下一步應(yīng)完善測試系統(tǒng),設(shè)計(jì)防油透聲層保護(hù)被測傳感器免于接觸硅油,以簡化操作。
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