基于MEMS的硅微壓阻式加速度傳感器的設(shè)計(jì)
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5．2 測試結(jié)果分析
通過對被測試加速度傳感器輸出電壓與加速度之間關(guān)系的分析，其基本屬于線性關(guān)系，采用一元線性回歸模型對被測試傳感器數(shù)據(jù)進(jìn)行直線擬合，其結(jié)果，如圖5所示。本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/163461.htm
對于懸臂梁結(jié)構(gòu)的硅微型加速度傳感器，在其它結(jié)構(gòu)尺寸相同的情況下，梁的厚度對加速度傳感器的靈敏度影響最大，基本上是反比的關(guān)系。這是由于在同樣的載荷下，梁厚與應(yīng)力大小成反比，而應(yīng)力大小直接影響靈敏度，應(yīng)力越大靈敏度越高。由于加工出芯片梁的厚度比設(shè)計(jì)值偏差較大，故其測試靈敏度比設(shè)計(jì)值小，如表3所示。
在質(zhì)量塊尺寸一定的情況下，梁的長度與靈敏度成正比，梁的寬度與靈敏度成反比。在梁的尺寸一定情況下，質(zhì)量塊的質(zhì)量與靈敏度成正比。
6 結(jié)束語
對制作的加速度傳感器樣品，在馬希特?fù)翦N上進(jìn)行了大量地沖擊標(biāo)定測試，測試結(jié)果表明：設(shè)計(jì)和加工制作的加速度計(jì)樣品在進(jìn)行加速度的沖擊時(shí)，有較好的信號(hào)輸出，單臂梁結(jié)構(gòu)的加速度計(jì)的靈敏度為1 μV／gn；雙臂梁結(jié)構(gòu)的加速度計(jì)的靈敏度為1．6μV／gn，與理論設(shè)計(jì)值基本吻合。
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