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          顯微系統(tǒng)基本參數(shù)的決定

          作者: 時(shí)間:2012-08-29 來(lái)源:網(wǎng)絡(luò) 收藏

          肉眼的瞄準(zhǔn)精度隨瞄準(zhǔn)方式、照度、對(duì)比度以及不同的觀測(cè)者而異,其最佳值也不過(guò)5″,這相當(dāng)于明視距離250 mm處的線量為

          本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/167587.htm

          也就是說(shuō)在最好的條件下肉眼對(duì)明視距離處物體的定位精度不大于6 gm。若在物體與眼睛間加入光學(xué),通過(guò)光學(xué)的放大作用可提高瞄準(zhǔn)精度。設(shè)儀器要求的測(cè)量精度為ε,而從總體考慮要求儀器的瞄準(zhǔn)精度為θE(一般εMε),設(shè)眼睛的瞄準(zhǔn)精度為θE則的總放大率Γ應(yīng)滿足

          例如,要求儀器具有0,2pm的瞄準(zhǔn)精度,采用虛線壓?jiǎn)尉€的瞄準(zhǔn)方式(9E=20″),則光學(xué)系統(tǒng)的放大率應(yīng)為

          放大率由儀器的瞄準(zhǔn)精度所,但瞄準(zhǔn)精度應(yīng)與儀器的測(cè)量精度相適應(yīng)。瞄準(zhǔn)精度低,滿足不了使用要求;瞄準(zhǔn)精度過(guò)高也不合理,且會(huì)導(dǎo)致儀器結(jié)構(gòu)過(guò)于龐大。儀器的`總放大率確定后,進(jìn)一步應(yīng)物鏡和目鏡的放大率。一般應(yīng)考慮以下因素:

          ①若物鏡倍數(shù)高,則分劃板的尺寸大,應(yīng)根據(jù)儀器總體允許的結(jié)構(gòu)尺寸及刻劃工藝來(lái)合理地選取物鏡的倍數(shù)。

          ②低倍物鏡在結(jié)構(gòu)不太復(fù)雜時(shí)即可得到較好的像質(zhì),而目鏡的像質(zhì)一股并不直接影響測(cè)量精度。

          ③系統(tǒng)的總長(zhǎng)L≈(卩-1)J,式中J為工作距離,卩為物鏡的橫向(垂軸)放大率。從式中可以看出,當(dāng)儀器的工作距離較長(zhǎng)時(shí), 卩過(guò)大會(huì)使儀器的結(jié)構(gòu)過(guò)于龐大。

          ④目鏡的倍數(shù)高意味著目鏡的板鏡距和出瞳距小,同時(shí)對(duì)分劃板的表面粗糙度和清潔度的要求也提高。

          因此在測(cè)量用的鏡中,物鏡的倍數(shù)一般都較低,很少大于10倍,而目鏡的倍數(shù)一般小于15倍。



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