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          一種單軸MEMS陀螺儀信號處理電路設(shè)計(jì)
          
						
          
				作者：
				時(shí)間：2011-12-23
				來源：網(wǎng)絡(luò)
				
				
				
				
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           設(shè)壓控振蕩器的輸出為Vppcosθ，靜電驅(qū)動(dòng)力為Fdcosθ，位移x=acos(θ+φ)，則
           d.jpg
           e.jpg
           采用平均方法對式(11)進(jìn)行化解，由于θ的變化速度要遠(yuǎn)遠(yuǎn)>φ和VLF的變化速度，根據(jù)平均方法，sin(2θ+2φ)、cos(2θ+2φ)、cos(2θ+φ)均為0，則式(11)可化解為
           f.jpg
           對于式(12)和式(13)組成的一階微分方程組，可以通過勞斯判據(jù)判定其穩(wěn)定性，其穩(wěn)態(tài)下的Jacobian矩陣為
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