疊層片式微波電感器的設(shè)計(jì)制造與應(yīng)用

摘要：文章闡述疊層片式微波電感器的工作原理，介紹其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、材料選用和制造工藝以及它們對(duì)電感器性能的影響。還簡(jiǎn)要敘述了疊層片式微波電感器的應(yīng)用領(lǐng)域。

1 引言
以蜂窩通信系統(tǒng)中的手機(jī)和便攜式電腦為典型代表的小型化電子設(shè)備的快速發(fā)展，使得微小型化、數(shù)字化、多功能化以及高功率密度成為當(dāng)代電子設(shè)備發(fā)展的潮流。再有表面貼裝技術(shù)的成熟，要求電子元器件向小、薄、輕的方向發(fā)展。對(duì)于電感器來(lái)說(shuō)，就是小型化、片式化、集成化、高頻化以及高性能、高精度、高效率。
2 疊層片式微波電感器的等效電路與工作參數(shù)模型
2.1 等效電路
眾所周知，電感器就是一個(gè)儲(chǔ)能線圈。而疊層片式微波電感器就是以一定工藝程序制成的多層疊裝的片狀結(jié)構(gòu)的線圈，其等效電路示于圖1。圖中，Lo為理想條件下的電感量；Co為寄生電容的總和；r為內(nèi)電極的直流電阻值；Ro是電損耗和磁損耗的總等效電阻值。
2.2 片式電感器的工作參數(shù)
根據(jù)集中參數(shù)模型，片式電感器的導(dǎo)納——頻率的函數(shù)關(guān)系表達(dá)式為：
(1)
式(1)闡述了電感器的主要性能函數(shù)為電阻值Z、電感量L、品質(zhì)因數(shù)Q值以及自諧振頻率fSR。
a. 阻抗Z值由下式(2)求解：
(2)
b. 電感器的電感值L由下式(3)求解：

(3)

c. 品質(zhì)因數(shù)Q值的求解示于式(4)：

(4)

d. 自諧振頻率fSR由下式(5)求出：
(5)
以上式中，ω=2πf。
在微波電感器設(shè)計(jì)中，人們定位于具有較高的自諧振頻率，并且在高頻下工作時(shí)具有穩(wěn)定的電感值和高的品質(zhì)因數(shù)Q值；對(duì)于表面貼裝工藝采用的片式電感器而言，繞線電感器和用光刻技術(shù)制造的電感器具有以上三方面的優(yōu)勢(shì)，也就是說(shuō)，疊層片式電感器也可以達(dá)到這些目的。
3 哪些因素影響微波電感器的性能
對(duì)于使用于高頻微波狀態(tài)下的微波電感器，影響其性能的因素比較多且比較復(fù)雜，為此，有許多文章論述過(guò)。以下僅從結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，器件的材料選用和印制法成型工藝技術(shù)等方面給予分析。
3.1 電感線圈形狀對(duì)電感器性能的影響
疊層片式電感器線圈結(jié)構(gòu)。一般設(shè)計(jì)成三種形狀：矩形、橢圓形和圓形。
現(xiàn)在，我們用這三種形狀的線圈所包圍的面積和線條寬度完全相同，同時(shí)，采用完全相同的材料和制造工藝，生產(chǎn)出三種形狀的1608型22nH感量的電感器，以進(jìn)行形狀對(duì)性能影響的比較，見(jiàn)表1所示（表中的Q值和fSR值分別使用HP4291和HP8753E儀器測(cè)量）。
表 1 線圈形狀對(duì)微波電感器性能的影響
形狀Q (100MHz)Q (900MHz)Q (1700MHz)fSR (GHz)
矩形 (3/4)16.845111.95
橢圓形 (1/2)15.643332.45
圓形15.141472.85

從表1中，我們可以看到，圓形結(jié)構(gòu)微波電感器的高頻性能明顯優(yōu)于矩形結(jié)構(gòu)和橢圓形結(jié)構(gòu)的性能。這是由于矩形和橢圓形結(jié)構(gòu)在高頻情況下的渦流損耗較大的原因。

3.2 高頻微波材料的選用對(duì)電感器性能的影響
疊層片式電感器使用的主要材料是陶瓷。由于受低溫共燒工藝的限制，所以基本上都選用能與銀共燒的高頻微波陶瓷材料。所用材料的性能對(duì)片式電感器的性能影響很大，其中最主要的影響是材料的介電常數(shù)ε以及材料的損耗因子tanδ。
表2列出了兩種材料制作的1608型56nH電感器的性能。表中列出了fSR和品質(zhì)因數(shù)Q值，L與Q值用HP4291測(cè)試儀測(cè)量，fSR用HP8753E測(cè)量。
由表2的數(shù)據(jù)我們可以看到，材料的性能對(duì)微波電感器性能的影響是很大的，例如，材料的介電常數(shù)小，可以減小電感器的寄生電容值，提高自諧振頻率；而材料的損耗因子tanδ小，則可以減少電感器的電磁損耗，尤其是在微波頻率下減少損耗。
3.3 印制電路工藝對(duì)微波電感器性能的影響
印制電路工藝對(duì)微波電感器性能中的品質(zhì)因數(shù)Q值的影響最明顯。但我們發(fā)現(xiàn)，影響電感器性能的印制電路工藝因素主要發(fā)生在生產(chǎn)過(guò)程中的實(shí)際操作上。在高頻情況下，印刷出的電極質(zhì)量對(duì)Q值的影響較大，如果生產(chǎn)過(guò)程中印制成的電極圓潤(rùn)而飽滿，則高頻下的Q值將明顯提高，并且可一定程度上提高自諧振頻率。此外，印制的次數(shù)對(duì)微波電感器的性能也有較大影響。因?yàn)樵黾佑≈拼螖?shù)，可以增加線條的厚度而減小電感器的電阻值，從而提高產(chǎn)品的品質(zhì)因數(shù)Q值。然而，在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，增加印制次數(shù)是受到限制的，一般只有2次到3次印制。
我們注意到，印制電路工藝與內(nèi)電極用的材料，與生產(chǎn)用的絲網(wǎng)、機(jī)器設(shè)備以及操作者的技能水平有著很大關(guān)系，生產(chǎn)工藝保證產(chǎn)品優(yōu)良性能必須具備適用的工具設(shè)備以及精心的操控。
以上我們對(duì)影響疊層片式微波電感器性能的因素進(jìn)行了多方面的理論分析，同時(shí)作了必要的測(cè)量對(duì)比，從而選擇了比較合理的設(shè)計(jì)方案，選擇了性能較好的微波高頻陶瓷材料以及適合的制造工藝技術(shù)，生產(chǎn)出了一系列性能優(yōu)良的微波電感器，如舉例的1608型10nH電感器，其自諧振頻率fSR超過(guò)6GHz。表3所列是用不同方法設(shè)計(jì)生產(chǎn)的1608型22nH微波電感器與Panasonic公司用光刻法生產(chǎn)的電感器以及傳統(tǒng)的繞線型片式電感器性能比較。
表 3 用不同方法生產(chǎn)的1608/22nH電感器性能比較
電感器類型Q(100MHz)Q(900MHz)Q(1700MH)fSR/GHz
光刻法電感器1646544.05
繞線片式電感器2570693.60
傳統(tǒng)疊層電感器1644292.50
本題疊層電感器1542564.60

從表3我們可以看到，本課題設(shè)計(jì)生產(chǎn)的疊層片式微波電感器已達(dá)到Panasonic公司的光刻電感器的性能水平，其高頻性能甚至更好。如果進(jìn)一步改善優(yōu)化工藝技術(shù)，其性能可以進(jìn)一步提高。
4 疊層片式微波電感器的應(yīng)用
當(dāng)前，微波領(lǐng)域的電子產(chǎn)品不斷涌現(xiàn)，故微波電感器的應(yīng)用也就越來(lái)越廣泛。例如，微波電感器在CDMA、TDMA、PHS、GSM手機(jī)等通信產(chǎn)品的射頻電路中已廣泛應(yīng)用；在無(wú)線網(wǎng)卡、藍(lán)牙模塊、計(jì)算機(jī)通訊、功率放大模塊、雷達(dá)探測(cè)領(lǐng)域等等的應(yīng)用也非常普遍，圖2、圖3和圖4是微波電感器在VCO諧振電路、PA電路和濾波電路中的應(yīng)用實(shí)例示圖，其功能分別是諧振、阻抗匹配和濾波等。
5 小結(jié)
微波電感器的線圈結(jié)構(gòu)形狀對(duì)其性能的影響很大，圓形結(jié)構(gòu)的微波電感器有利于提高電感器的微波性能。
微波電感器片式疊層材料的選擇對(duì)其性能的影響也很大，材料的介電常數(shù)ε和損耗因子tanδ的值越小，對(duì)提高電感器的微波性能越有利。
印制電路工藝技術(shù)對(duì)電感器的微波性能有較大的影響，故在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中要嚴(yán)格掌控，同時(shí)提供優(yōu)良的工具和制造裝備。

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