亞微米CMOS電路中VDD-VSSESD保護(hù)結(jié)構(gòu)設(shè)計（二）

3 仿真分析及具體設(shè)計結(jié)果

3.1 仿真分析

在亞微米的ESD結(jié)構(gòu)的設(shè)計中，一種常見的具體的ESD瞬態(tài)檢測電壓如圖2 VDD-VSS間的電壓鉗位結(jié)構(gòu)。其原理如下：

主要利用結(jié)構(gòu)中的RC延遲作用，一般T=RC被設(shè)計為100ns-1000ns之間，而ESD脈沖通常為納秒級，其上升時間為十幾納秒。初始狀態(tài)，IC處于懸空狀態(tài)下，當(dāng)個正ESD電壓出現(xiàn)在VDD電源線上，而VSS相對為0時，Vx通過RC開始充電，由于其充電常數(shù)T比VDD的上升時間大的多，致使Vx無法跟隨VDD的變化，從而使P0管打開，N0管關(guān)閉，Vg電壓迅速上升，N1大管開啟，從而提供了一個從VDD到VSS的低阻抗大電流泄放通道并對內(nèi)部的VDD與VSS有一個電壓鉗位作用，從而有效地保護(hù)了內(nèi)部電路。 在正常上電時，因為正常的上電時間為毫秒級，所以Vx的充電可以跟隨VDD變化，當(dāng)上升到一定電壓時，N0管開啟，P0管一直關(guān)閉，Vg=0，N1管一直關(guān)斷無效。

對上述例子中圖2結(jié)構(gòu)的具體仿真見圖5、圖6。

從上述仿真分析及實際的ESD結(jié)果來看，該結(jié)構(gòu)本身首先必須要有一定的健壯性，其自身的健壯性則與以下兩方面有關(guān)：

(1)該結(jié)構(gòu)的邏輯設(shè)計，即各管子尺寸的設(shè)計，以保證該結(jié)構(gòu)在正常上電時能完全關(guān)斷，使電路正常工作，當(dāng)ESD發(fā)生時能有效開啟，從而保護(hù)內(nèi)部結(jié)構(gòu)。通常T=RC的值的設(shè)計要在100ns-1000ns之間，R可由倒比管或阱電阻實現(xiàn)，而C可直接由MOS電容構(gòu)成，P0、N0管的寬長比W/L不用很大，其溝長比內(nèi)部最小溝長稍大，該結(jié)構(gòu)因為承受了ESD大電流泄放通道的任務(wù)，N1管的寬長比4W/L要比較大，在不影響面積的情況下盡可能大，管子溝長比內(nèi)部最小溝長大。

(2)該結(jié)構(gòu)的版圖設(shè)計非常關(guān)鍵，其設(shè)計不當(dāng)就可能導(dǎo)致自身的損壞。特別是N1管子版圖設(shè)計，其漏區(qū)孔距柵要有一定距離，即有一定的壓艙(Ballast)電阻時電流開啟泄放更均勻。

3.2 具體設(shè)計及結(jié)果

上述例子中，主要是版圖的設(shè)計不當(dāng)造成在ESD發(fā)生時自身結(jié)構(gòu)的損壞。經(jīng)過分析，對該版圖結(jié)構(gòu)做了一些修改優(yōu)化。

原因：針對上述理論分析及例子中實際的擊穿點(diǎn)，該結(jié)構(gòu)在1000V即被擊穿的原因主要是N1管的漏區(qū)孔距柵的距離d太小所致，d=1.35μm;

目標(biāo)：改動盡量少的版次達(dá)到全面提升該電路的ESD性能的目標(biāo);

方案：N1管的L修改為1.2μm，d修改為3μm，改動的版次為多晶版和孔版;

結(jié)果：I/O-VDD、I/O/-VSS、I/O-I/O模式下，最低的P95可達(dá)到2.50kV，P50、P51、P54、P57、P84可達(dá)2.8kV，其余的I/O在3.1kV時仍然通過;在VDD-VSS模式下，當(dāng)ESD加+3.40kV時，VDD-VSS間短路，所以該模式下抗ESD電壓為3.1kV。

可見，通過修改優(yōu)化VDD-VSS鉗位結(jié)構(gòu)，其圖2結(jié)構(gòu)自身的抗ESD健壯性大大增強(qiáng)，VDD-VSS的抗ESD能力提高到3kV以上，其余I/O也得到了進(jìn)一步的提升，使該電路總體ESD性能提高到2.20kV以上，滿足了民品電路的ESD性能要求。要進(jìn)一步提高該電路的ESD性能，需要對該結(jié)構(gòu)繼續(xù)優(yōu)化，如再增大N1管的漏區(qū)孔距柵的距離d及W/L等，其他I/O口的GGNMOS管也需要相應(yīng)的優(yōu)化修改，但其總面積可能會相應(yīng)增加。

4 VDD-VSS兩種電壓鉗位結(jié)構(gòu)的比較

圖8為一種常見的全芯片ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)的設(shè)計，左邊為一個輸入PAD，右邊為一個輸出PAD，最右邊的NMOS管則是常規(guī)CMOS工藝電路中最常見的VDD-VSS電壓鉗位結(jié)構(gòu)的設(shè)計。其設(shè)計要注意管子本身尺寸的邏輯設(shè)計，也要注意其版圖的詳細(xì)規(guī)則設(shè)計。它不屬于電壓檢測電路。在電路正常工作時，相當(dāng)于一個反向二極管;當(dāng)有ESD發(fā)生時，則NMOS管漏區(qū)的PN結(jié)反向擊穿，寄生的NPN導(dǎo)通從而泄放大電流并使VDD-VSS間的電壓鉗位。

圖9中最右邊的VDD-VSS電壓鉗位結(jié)構(gòu)的設(shè)計則為一種ESD瞬態(tài)檢測電路，該電路一種詳細(xì)的設(shè)計方案即為圖2的結(jié)構(gòu)設(shè)計。具體作用上面已經(jīng)進(jìn)行了詳細(xì)的分析闡述。主要是比較一下圖8、圖9兩種VDD-VSS電壓鉗位結(jié)構(gòu)的優(yōu)劣。

在ESD發(fā)生時，兩個結(jié)構(gòu)對VDD-VSS都有電壓鉗位作用，關(guān)鍵是各自電流的泄放能力的差異。一般管子的正向?qū)ū确聪驌舸┠芰δ透叩腅SD電壓，承受更大、更低阻抗的ESD電流，且ESD電流泄放更均勻。在亞微米CMOS IC中，VDD-VSS直接的GGNMOS大管可能不足以耐較高的ESD電壓，該結(jié)構(gòu)更有利于ESD性能的提升，同時其版圖設(shè)計面積也更大。只有在亞微米以下的CMOS電路的設(shè)計中，才需要考慮。

5 全芯片ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)的設(shè)計

如要進(jìn)一步優(yōu)化電路的抗ESD性能，需要從全芯片ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)的設(shè)計來進(jìn)行考慮，在亞微米全芯片ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)的設(shè)計中，不僅要設(shè)計每個I/O對VDD、VSS直接的保護(hù)結(jié)構(gòu)，以提供外圍直接的ESD低阻抗大電流泄放通道及對內(nèi)部電壓鉗位，更要重點(diǎn)設(shè)計全芯片外圍VDD-VSS之間低阻抗大電流泄放通道及對內(nèi)部VDD-VSS電壓的鉗位，如上述例子中若去掉圖2的結(jié)構(gòu)，則I/O-VDD(VSS)的ESD性能下降許多，特別是對于面積較大、特征尺寸較小的電路，電源線、地線走線較長，則電路的不同位置電源線、地線對VDD、VSS根部有較大的電阻壓降，在VDDPAD上出現(xiàn)ESD脈沖時，距VDDPAD較遠(yuǎn)的電源線上就有了一定的RC延遲，所以即使完全相同的ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)，由于每個I/O PAD距VDD、VSSPAD位置的不同，其ESD性能也不完全相同，離VDD、VSS近的I/O口ESD性能更好，反之較差，上述例子中優(yōu)化改版后，有幾個管腳如P95、P51、P54等抗ESD變的更差就與其位置離VDD、VSS最遠(yuǎn)有關(guān)，若在芯片的左下角再加一個VDD-VSS如圖2的保護(hù)結(jié)構(gòu)，則全芯片的抗ESD性能會得到進(jìn)一步的提高。

在全芯片的ESD結(jié)構(gòu)設(shè)計時，注意以下關(guān)鍵幾點(diǎn)：

(1)外圍VDD、VSS走線盡可能寬，減小走線上的電阻;

(2)設(shè)計一種VDD-VSS之間的電壓鉗位結(jié)構(gòu)，且在發(fā)生ESD時能提供VDD-VSS直接低阻抗電流泄放通道，如文章所述的結(jié)構(gòu)。對于面積較大的電路，最好在芯片的四周各放置一個這樣的結(jié)構(gòu)，若有可能，在芯片外圍放置多個VDD、VSSPAD，也可以增強(qiáng)整體電路的抗ESD能力;

(3)外圍保護(hù)結(jié)構(gòu)的電源地的走線盡量與內(nèi)部走線分開，外圍ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)盡量做到均勻設(shè)計，避免版圖設(shè)計上出現(xiàn)ESD薄膜環(huán)節(jié);

(4)ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)的設(shè)計要在電路的ESD性能、芯片面積、保護(hù)結(jié)構(gòu)對電路特性的影響如輸入信號完整性、電路速度、輸出驅(qū)動能力等進(jìn)行平衡考慮設(shè)計，還需要考慮工藝的容差，使電路設(shè)計達(dá)到最優(yōu)化。一個全芯片的ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)的設(shè)計見圖10。

在實際設(shè)計的一些電路中，如0.8μm以上的電路中，有時沒有直接的VDD-VSS電壓鉗位保護(hù)結(jié)構(gòu)，此時，VDD-VSS之間的電壓鉗位及ESD電流泄放主要利用全芯片整個電路的阱與襯底的接觸空間。所以在外圍電路要盡可能多地增加阱與襯底的接觸，且N+P+的間距一致。若有空間，則最好在VDD、VSSPAD旁邊及四周增加VDD-VSS電壓鉗位保護(hù)結(jié)構(gòu)，不僅增強(qiáng)了VDD-VSS模式下的抗ESD能力，也增強(qiáng)了I/O-I/O模式下的抗EESD能力，且自身的抗ESD能力要具有很強(qiáng)的健壯性，避免自身可能首先被ESD擊穿損壞從而成為全芯片的最薄弱環(huán)節(jié)。

6 總結(jié)

對于深亞微米超大規(guī)模CMOS IC的ESD結(jié)構(gòu)設(shè)計，常規(guī)的ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)通常不再使用了，通常大多是深亞微米工藝的Foundry生產(chǎn)線都有自己的外圍標(biāo)準(zhǔn)的ESD結(jié)構(gòu)提供，有嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)的ESD結(jié)構(gòu)設(shè)計規(guī)則等，設(shè)計廠商只需調(diào)用其結(jié)構(gòu)就可以了，這可使芯片設(shè)計師把更多精力放在電路本身的功能、性能方面的設(shè)計等。

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