Fourier變換輪廓術(shù)中參數(shù)的選擇和優(yōu)化研究
引入物面傾面將式(3)代入后有:本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/195897.htm
由式(4)可知,當(dāng)減小夾角θ時(shí),tgθ亦減小,fn得到壓縮,而等效波長(zhǎng)λc卻增大,所以頻譜的壓縮是以系統(tǒng)測(cè)量精度的降低為代價(jià)的。
壓縮夾角θ,使基頻同零頻和高頻完全分離,須滿足條件:
式中,fb為零頻最大值。解得各次譜完全分離時(shí)夾角θ所必須滿足的條件為:
必須對(duì)(f0-fb)/f0與1/3進(jìn)行比較,以決定θ的選擇。不考慮零頻的影響,假設(shè)各次頻譜完全分離時(shí)的夾角為θc,則θc由下式確定:
評(píng)論