FD-SOI與FinFET互補，是中國芯片業(yè)彎道超車機會
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摘要：本文介紹了Soitec半導體公司的全耗盡絕緣硅(FD-SOI)的特點、最新進展及其生態(tài)系統(tǒng)，并將FD-SOI與FinFET作比較，分析了各自的優(yōu)勢、應用領域和應用前景。
本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/201603/288895.htm
2016年2月，Soitec宣布上海硅產業(yè)投資公司擬入資Soitec，促進FD-SOI在中國的商用化。FD-SOI的特點是擅長功耗和成本敏感型應用，擅長數字與混合信號SoC集成與高性能;而另一條技術路線——FinFET(3D晶體管)適合高性能數字處理等場合?！?010后SOI真正成熟，最大市場是平板電腦和智能手機領域的RF-SOI，模擬和功率采用Power-SOI，此外，還有數字處理的FD-SOI等。(如圖2)”Soitec數字電子業(yè)務部高級副總裁Christophe Maleville稱。
SOI與FinFET工藝和應用對比
SOI特點是特殊材料、普通工藝。而FinFET的特點是普通材料，特殊工藝。FD-SOI基板的價值是電路的一部分已經集成在基板里了，而且FD-SOI頂層硅厚度一致性非常好，硅層厚度的誤差可以確?？刂圃趲讉€原子層之內，例如28nm工藝時3萬個晶圓誤差只有±1原子層，這相當于巴黎到北京的距離，海拔高度控制在1.4cm內。FD-SOI可代替很多GaAs材料，因為性能更高。另外功耗和成本上，FD-SOI也有很大優(yōu)勢。FD-SOI的成功案例包括NXP/飛思卡爾的i.MX 7和i.MX 8應用處理器平臺，SONY新一代的GPS。另外在汽車領域很適合，性能與FinFET相當，成本降低超過20%，即使在高溫下也只有很低的功耗，幾乎可以抵御所有輻射?！癋D-SOI將使未來自動駕駛成為可能，例如視頻處理器可以安裝在擋風玻璃上?！盋hristophe Maleville說道。
FD-SOI將是中國半導體業(yè)彎道超車的機會
在制造工藝上，FD-SOI比FinFET更容易實現。目前三星、格羅方德(GlobalFoundries)有FD-SOI代工業(yè)務，國內的華虹和SMIC也可生產FD-SOI，已有超過10家中國fabless(芯片設計公司)在設計相關芯片，一家產品已經投產。目前中國正全面采用各類主流半導體技術，包括當今晶圓廠廣泛采用的平面bulk技術、顛覆性的FinFET技術，及日益崛起、備受矚目的新興FD-SOI技術?！癋D-SOI將是中國半導體業(yè)彎道超車的機會，并可通過FD-SOI技術驅動電子產業(yè)增長?！盨oitec公司市場和業(yè)務拓展部高級副總裁Thomas Piliszczuk指出。
本文來源于中國科技期刊《電子產品世界》2016年第3期第5頁，歡迎您寫論文時引用，并注明出處。
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