圖1中第1部分為整流濾波電路,采用全波橋式整流與電容濾波將220V交流變?yōu)?11V平滑直流。第2部分為開關(guān)電源,將311V直流變?yōu)?00kHz脈沖電流,再經(jīng)電容、電感濾波后變?yōu)?0V、8A直流。第3部分包括由振蕩器與放大器兩部分組成的RF電路(如虛線框內(nèi)所示)。將輸入直流經(jīng)晶振變?yōu)?0MHz,6W射頻。再經(jīng)14.28dB增益的放大器,放大后輸出為40MHz,160W。第4部分為脈沖工作的調(diào)制器。第5部分為匹配網(wǎng)絡(luò)。
圖 RF CO2激光器電源原理框圖
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