小電流測量漏流和保護(hù)II

保護(hù)亦可用于減小電纜連接中的漏流。圖12所示為驅(qū)動保護(hù)防止電纜的漏泄電阻影響小電流測量的原理.在無保護(hù)的配置中，同軸電纜的漏阻與DUT并聯(lián)(RDUT)，產(chǎn)生不希望的漏流(IL)。該漏流將影響極小電流的測量。
在保護(hù)電路中，三軸電纜的內(nèi)芯屏蔽被連接至SMU的保護(hù)端子。現(xiàn)在，該屏蔽由一個(gè)單位增益低阻放大器(保護(hù))驅(qū)動。Force HI端子和保護(hù)端子之間的電勢差接近0V，所以漏流(IL)可忽略不計(jì)。


圖12.利用保護(hù)減小電纜連接中的漏流
為了查看測量極高電阻時(shí)三軸電纜和同軸電纜的結(jié)果，圖13中繪出了采用10V階躍函數(shù)測量100GΩ電阻的測量電流和時(shí)間的關(guān)系圖。三軸電纜通過使用保護(hù)，以兩種方式改善了測量：1)它減小了有效電纜電容，從而降低了測量的RC時(shí)間常數(shù)或建立時(shí)間；2)防止電纜中的漏流對測量準(zhǔn)確度造成不利影響。


圖13.使用同軸電纜和三軸電纜測量高阻的結(jié)果比較
從圖13可知，利用帶有保護(hù)的三軸電纜進(jìn)行測量，漏流較小(低幾個(gè)pA)，建立時(shí)間更短(大約快10倍)。如果SMU必須連接至采用BNC連接器的測試夾具，請?jiān)赟MU和測試夾具之間使用吉時(shí)利三軸電纜，然后再將BNC連接至三軸適配器(去掉了保護(hù))，從而將電纜連接至測試夾具。