利用大功率數(shù)字源表構(gòu)建多源測(cè)量單元（SMU）系統(tǒng)-連載二

過去，大多數(shù)功率半導(dǎo)體制造商為了測(cè)試不得不對(duì)器件進(jìn)行封裝，因?yàn)楫?dāng)時(shí)對(duì)晶片上器件施加數(shù)十或數(shù)千伏電壓的技術(shù)尚未廣泛使用。

商用探測(cè)器解決方案的應(yīng)用使得諸多制造商可以對(duì)晶片上器件進(jìn)行測(cè)試，從而降低了測(cè)試成本。

有關(guān)封裝器件或晶片上器件測(cè)試的決策是在探測(cè)器的巨大資本成本和測(cè)試前封裝器件的較?。ǖ貜?fù)）資本成本之間的一個(gè)平衡。吉時(shí)利公司的解決方案既適合封裝器件測(cè)試，又適合晶片級(jí)測(cè)試。

對(duì)于已封裝器件的測(cè)試，系統(tǒng)開發(fā)人員應(yīng)當(dāng)利用商用測(cè)試夾具，注意支撐的器件封裝以及任何定制化機(jī)會(huì)。吉時(shí)利提供8010型大功率測(cè)試夾具，加之供應(yīng)或可選的器件測(cè)試板，可以對(duì)TO-220以及TO-247封裝器件進(jìn)行測(cè)試。此外，8010型大功率測(cè)試夾具以及有關(guān)器件測(cè)試板還支持針對(duì)各種器件封裝連接的定制。系統(tǒng)開發(fā)人員還可以創(chuàng)建定制電路或者使用夾子以及絕緣塊連接不支持封裝的器件。

8010型大功率測(cè)試夾具支持以下吉時(shí)利源測(cè)量單元（SMU）:

• 1個(gè)或2個(gè)吉時(shí)利2651A型大電流、大功率數(shù)字源表(兩個(gè)并聯(lián)允許高達(dá)100A脈沖)

• 1個(gè)吉時(shí)利2657A型高壓、大功率數(shù)字源表

• 1個(gè)或2個(gè)以下吉時(shí)利源測(cè)量單元（SMU）:2611/12A型、2635/6A型、4200-SMU型、4210-SMU型

在8010型大功率測(cè)試夾具中裝有適合較低電壓源測(cè)量單元（SMU）的過壓保護(hù)電路，因此，萬一因器件故障導(dǎo)致2657A型源測(cè)量單元過壓，儀器也可以得到保護(hù)。利用8010型夾具，最多可以將源測(cè)量單元（SMU）連接至器件的3個(gè)端口。

對(duì)于某些封裝器件來說，必須使用定制夾具來處置封裝或器件類型/端口，因?yàn)樯逃脢A具不支持。在這種情況下，考慮以下指南:

• 為即將測(cè)試的各種器件封裝類型制定計(jì)劃。

• 尋找或設(shè)計(jì)適合系統(tǒng)最大電壓與最大電流額定值的插座。

• 對(duì)于大電流測(cè)試，使用具有開爾文連接的插座。這將確保始終為器件引腳提供4線連接，并在避免插座引線電阻帶來電壓誤差情況下實(shí)現(xiàn)真正的測(cè)量。

• 對(duì)于高壓測(cè)試，要保證插座采用高質(zhì)量絕緣材料制造，從而確保測(cè)量是在足夠低的電流下進(jìn)行的。

• 對(duì)于高壓測(cè)試，如果可能，請(qǐng)使用三軸連接。對(duì)于2657A型大功率系統(tǒng)數(shù)字源表，可以使用吉時(shí)利HV-CA-571-3轉(zhuǎn)無端連接的高壓三軸線連接無端電纜組件，利用高壓三軸連接構(gòu)建測(cè)試夾具。對(duì)于較高的電壓爬電和電壓間隙指標(biāo)要求，要確保電纜正確終止。

• 導(dǎo)電夾具外殼要與安全接地端連接。確保非導(dǎo)電夾具外殼電壓耐壓是測(cè)試系統(tǒng)電壓最大值的兩倍。要符合其他所有安全防范措施。

對(duì)于晶片上器件的測(cè)試，可以選擇在高壓、大電流晶片測(cè)試方面經(jīng)驗(yàn)豐富的探測(cè)器供應(yīng)商。功率半導(dǎo)體器件通常采用垂直結(jié)構(gòu)，在晶片后方具有高壓或大電流連接端口。這個(gè)垂直方向允許器件設(shè)計(jì)人員獲得更高的擊穿電壓。晶片通常是超薄的，這使得器件具有較低的導(dǎo)通電阻。為了實(shí)現(xiàn)器件開啟狀態(tài)特性分析期間的低接觸電阻，知識(shí)淵博的探測(cè)器供應(yīng)商都積累了豐富的夾頭材料以及夾頭設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)。此外，在通過大型夾頭表面獲得優(yōu)良低電流測(cè)量方面，他們也擁有足夠的專長(zhǎng)，而且能夠就如何選擇滿足特殊需求的適當(dāng)電纜給予指導(dǎo)。