采用2602型源表進(jìn)行激光二極管模組和VCSEL直流生產(chǎn)測(cè)試

典型的激光二極管模組由一個(gè)激光二極管和背光探測(cè)二極管組成。帶溫控的激光二極管模組還可以包括一個(gè)半導(dǎo)體制冷器（thermoelectric controller，TEC）和一個(gè)熱敏電阻以便對(duì)激光二極管工作溫度進(jìn)行精確調(diào)節(jié)，如圖1所示。（另外，在高速激光二極管模組中還包括一個(gè)集成的調(diào)制器芯片，未在圖1中示出）。

圖1. 典型激光二極管模組

圖2. 簡(jiǎn)化的垂直腔面發(fā)射激光器結(jié)構(gòu)（來(lái)源：Kartalopoulos）

相比于標(biāo)準(zhǔn)的激光二極管，垂直腔面發(fā)射激光器VCSEL具有更為復(fù)雜的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，但其封裝結(jié)構(gòu)一般更為簡(jiǎn)單。典型VCSEL結(jié)構(gòu)的剖面圖如圖2所示。不同于邊緣發(fā)射激光二極管，VCSEL可實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)測(cè)試，這一特點(diǎn)同時(shí)為VCSEL的測(cè)試提供了機(jī)遇和挑戰(zhàn)，在下面部分將對(duì)其進(jìn)行探討。

需要記住的是，無(wú)論這兩種器件中的哪一種，都需要多步工序完成制造。制造中的每一個(gè)工藝步驟本質(zhì)上關(guān)乎器件價(jià)值的增長(zhǎng)，這決定了人們要在執(zhí)行下一步組裝工藝之前進(jìn)行元器件測(cè)試。例如，由于背光探測(cè)二極管失效導(dǎo)致整個(gè)激光二極管模組報(bào)廢的成本，要遠(yuǎn)高于在組裝前對(duì)光電二極管進(jìn)行完全測(cè)試的成本。快速靈活的測(cè)試方案對(duì)于減小測(cè)試的成本至關(guān)重要。

在本文中，詳細(xì)介紹了幾種可以滿足現(xiàn)今生產(chǎn)環(huán)境中高通量要求的、高成本效益的直流測(cè)試系統(tǒng)。