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          采用2602型源表進行激光二極管模組和VCSEL直流生產(chǎn)測試

          作者: 時間:2017-01-12 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏
          激光二極管(Laser diode,LD)和垂直腔面發(fā)射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,VCSEL)在光通信、光譜學(xué)和其他許多重要應(yīng)用中是兩種主要的元器件。隨著對上述應(yīng)用的需求的增長,對這兩類基本元件的需求也隨之增長,這就要求人們更加注重于開發(fā)精確且成本經(jīng)濟性好的生產(chǎn)測試策略。

          典型的激光二極管模組由一個激光二極管和背光探測二極管組成。帶溫控的激光二極管模組還可以包括一個半導(dǎo)體制冷器(thermoelectric controller,TEC)和一個熱敏電阻以便對激光二極管工作溫度進行精確調(diào)節(jié),如圖1所示。(另外,在高速激光二極管模組中還包括一個集成的調(diào)制器芯片,未在圖1中示出)。

          本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/201701/337931.htm

          圖1. 典型激光二極管模組

          圖2. 簡化的垂直腔面發(fā)射激光器結(jié)構(gòu)(來源:Kartalopoulos)

          相比于標準的激光二極管,垂直腔面發(fā)射激光器VCSEL具有更為復(fù)雜的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),但其封裝結(jié)構(gòu)一般更為簡單。典型VCSEL結(jié)構(gòu)的剖面圖如圖2所示。不同于邊緣發(fā)射激光二極管,VCSEL可實現(xiàn)晶圓級測試,這一特點同時為VCSEL的測試提供了機遇和挑戰(zhàn),在下面部分將對其進行探討。

          需要記住的是,無論這兩種器件中的哪一種,都需要多步工序完成制造。制造中的每一個工藝步驟本質(zhì)上關(guān)乎器件價值的增長,這決定了人們要在執(zhí)行下一步組裝工藝之前進行元器件測試。例如,由于背光探測二極管失效導(dǎo)致整個激光二極管模組報廢的成本,要遠高于在組裝前對光電二極管進行完全測試的成本??焖凫`活的測試方案對于減小測試的成本至關(guān)重要。

          在本文中,詳細介紹了幾種可以滿足現(xiàn)今生產(chǎn)環(huán)境中高通量要求的、高成本效益的直流測試系統(tǒng)。



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