2602型源表應(yīng)用測試類型（二）

典型的激光二極管模組中，熱敏電阻在25℃下的標(biāo)稱阻值為10kΩ。在常規(guī)工作模式中，整個(gè)模組的熱穩(wěn)定性要比其絕對(duì)溫度值更為關(guān)鍵。

一系列測試熱敏電阻的技術(shù)如下：

1、維持激光二極管模組的溫度在一個(gè)已知溫度上，簡單測量熱敏電阻的阻值；

2、將一個(gè)特性已經(jīng)測出的熱敏電阻熱耦合到激光二極管模組上，使整個(gè)組裝體達(dá)到熱平衡，比較特性已知熱敏電阻與激光二極管熱敏電阻的阻值；

3、在制造過程中，設(shè)定一個(gè)足以包含激光二極管模組溫度的阻值范圍。為了避免熱敏電阻的自加熱效應(yīng)，需要保持最小的功耗。一般地，提供10μA~100μA的恒定電流，測得的電壓用于推導(dǎo)電阻值。

晶圓測試

VCSEL是唯一的一種進(jìn)行晶圓級(jí)測試的激光器件。圖1示出了片上VCSEL測試的簡單測試系統(tǒng)。晶圓探針臺(tái)通過探針卡與每個(gè)器件實(shí)現(xiàn)電學(xué)連接。探針臺(tái)也可直接定位器件上的光學(xué)探測器。隨后，使用單臺(tái)2602雙通道源表進(jìn)行特性測量。

圖1. 2602 VCSEL片上測試典型框圖

如果探針卡可以同時(shí)與多個(gè)器件連接，每次探針卡與晶圓接觸，類似于圖1所示的系統(tǒng)可以測試片上的所有器件。由于片上器件數(shù)量巨大，采用掃描測試方案會(huì)非常耗時(shí)。對(duì)于要求高吞吐量的應(yīng)用，用多個(gè)設(shè)備并行進(jìn)行多個(gè)器件的測試往往是最優(yōu)的測試方案。對(duì)于擴(kuò)展的測試方案，可以參考下面小節(jié)中討論的多路技術(shù)以及并行設(shè)備配置。