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          MEMS傳感器的應(yīng)用走勢及提高精度的方法探討

          作者:王瑩 時間:2017-10-27 來源:電子產(chǎn)品世界 收藏
          編者按:近日,ST(意法半導(dǎo)體)大中華暨南亞區(qū)模擬和MEMS產(chǎn)品部市場總監(jiān)吳衛(wèi)東先生在京介紹了ST MEMS傳感器的發(fā)展概況,提高傳感器精度的方法,以及汽車、工業(yè)等市場對傳感器的需求特點。

          作者 / 王瑩 《電子產(chǎn)品世界》編輯

          本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/201710/370658.htm

          摘要:近日,ST(意法半導(dǎo)體)大中華暨南亞區(qū)模擬和產(chǎn)品部市場總監(jiān)吳衛(wèi)東先生在京介紹了ST 的發(fā)展概況,提高的方法,以及汽車、等市場對的需求特點。

          ST做了20年的傳感器

            在MEMS傳感器方面,ST已經(jīng)做了20年,至今出貨130億片MEMS傳感器。隨著制程和調(diào)校的改進(jìn),下一步希望從消費(fèi)類更多地擴(kuò)展到汽車和應(yīng)用。ST特點是提供傳感器和致動器(Actuator),有經(jīng)過市場檢驗的制造技術(shù),擁有大規(guī)模制造能力,有多傳感器集成能力,集成了市場領(lǐng)先的智能功能等。

            就像陰陽八卦一樣,傳感器的應(yīng)用也在周而復(fù)始地輪回。MEMS傳感器起始于汽車和,但這十年真正推波助瀾、并使MEMS普及的是消費(fèi)類電子。如今,MEMS的下一波浪潮有望重回汽車和工業(yè)。

            據(jù)IHS 2017年上半年市場報告,ST是世界第一大汽車非安全性應(yīng)用MEMS廠商(如圖1);在研發(fā)投入和研發(fā)熱情的具體表現(xiàn)方面,2016年ST市場份額同比增長20%。非安全應(yīng)用主要包括導(dǎo)航和信息娛樂系統(tǒng)等,需要用到加速度傳感器和陀螺儀(如圖2)。

          新應(yīng)用需要更高

            高性能取決于應(yīng)用的需求。汽車應(yīng)用里,汽車導(dǎo)航通常采用GPS,MEMS慣性傳感器作為輔助測量,以覆蓋GPS的盲區(qū)(如圖3)。因此MEMS傳感器就要有高,通常整個系統(tǒng)的精度要達(dá)到“米”級。這個米級并不是一個時間點,是累積的,因為傳感器的挑戰(zhàn)是參數(shù)會隨著溫度和時間等漂移。自動駕駛對精度的要求更高,目前客戶要求精度要在20厘米以內(nèi)(如圖4)。

            虛擬增強(qiáng)實境的感測精度約在10厘米以內(nèi)。在VR領(lǐng)域,從Android 5.0開始規(guī)定了傳感器的參數(shù)規(guī)格,甚至要對傳感器做認(rèn)證,可見傳感器起著至關(guān)重要的作用。

            此外,手機(jī)光學(xué)防抖的誤差是10厘米以內(nèi),是針對畫面之間的偏差。工業(yè)上的壓力監(jiān)測要控制在10厘米以內(nèi)。溫濕度檢測希望達(dá)到0.5℃以內(nèi),精度3%以內(nèi)。

          影響傳感器精度的因素

            提高精度容易嗎?實際上既容易也不容易。如果不考慮功耗,較為容易,因為功耗提升后,計算能力可以增強(qiáng)。目前的挑戰(zhàn)是,很多應(yīng)用對功耗是非常在乎的,例如電池供電。

            既然傳感器那么重要,設(shè)計上是不是已有質(zhì)的改變或新的技術(shù)?從傳感器原理看,通常采用著名的傳感器精度衡量方法——阿倫方差(AVAR),如圖5。但做傳感器產(chǎn)品時有一些物理局限性不可規(guī)避。例如MEMS傳感器里一部分是機(jī)械結(jié)構(gòu),會老化,且會隨著溫度和時間變化。這些參數(shù)解釋成電子術(shù)語就是背景噪聲、白噪聲或者不穩(wěn)定、隨機(jī)的抖動。其控制方法要用生產(chǎn)或者校正的方法來彌補(bǔ)。

            *噪聲。有本身機(jī)械結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的噪聲,還有閃變噪聲和高頻噪聲。高頻噪聲指傳感器在應(yīng)用時是數(shù)字輸出,在任何電子線路里會有電磁耦合現(xiàn)象。因此在處理時,傳感器廠商要有足夠的經(jīng)驗幫助客戶在算法上規(guī)避或抑制、消除這些噪聲。如圖6。

            *穩(wěn)定性。時間的穩(wěn)定性毋庸置疑是解決老化,例如今天輸入“1”出來“100%”,明天輸入“1”出來“99%”,就要控制輸入穩(wěn)定性。溫度的穩(wěn)定性,指產(chǎn)品特性在0℃和50℃時肯定不一樣,你要盡量在設(shè)計中消除和平衡溫度的影響。重復(fù)測試的穩(wěn)定性,例如數(shù)據(jù)線路中如果輸入“1”時應(yīng)該輸出“0”,如果達(dá)不到“0”就是錯。



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