高功率半導(dǎo)體激光器的過去與未來

　　二極管泵浦固態(tài)和光纖激光器

　　高功率半導(dǎo)體激光器的改進使下游激光器技術(shù)的發(fā)展成為可能;在下游激光器技術(shù)領(lǐng)域，半導(dǎo)體激光器被用于激發(fā)(泵浦)摻雜晶體(二極管泵浦固態(tài)激光器)或摻雜光纖(光纖激光器)。

　　雖然半導(dǎo)體激光器提供高效率，低成本的激光能源，但有其有兩個關(guān)鍵限制：它們不儲存能量、亮度也有限。基本上這兩種激光器需要用于許多應(yīng)用：其中一個用于將電轉(zhuǎn)換成激光發(fā)射，另外一個則用來增強該激光發(fā)射的亮度。

　　二極管泵浦固體激光器。在二十世紀(jì)八十年代后期，用半導(dǎo)體激光器泵浦固體激光器的應(yīng)用開始在商業(yè)應(yīng)用中逐漸普及。二極管泵浦固體激光器(DPSSL)極大地縮小了熱管理系統(tǒng)(主要是循環(huán)冷卻器)的尺寸和復(fù)雜性，并且獲得了歷來結(jié)合了弧光燈用于泵浦固態(tài)激光晶體的模塊。

　　半導(dǎo)體激光器波長的選擇是基于它們與固態(tài)激光增益介質(zhì)的光譜吸收特性的重疊來進行的;與弧光燈的寬帶發(fā)射光譜相比，極大地降低了熱負荷。由于1064nm釹基激光器的普及，20多年以來，808nm泵浦波長成為半導(dǎo)體激光器中數(shù)量最大的波長。

　　隨著多模半導(dǎo)體激光器亮度的提高以及在2000年中期能夠用體布拉格光柵(VBGs)穩(wěn)定窄發(fā)射線寬的能力，實現(xiàn)了第二代改進的二極管泵浦效率。880nm左右的較弱和光譜窄的吸收特征成為了高亮度泵浦二極管的研究熱點，這些二極管能實現(xiàn)光譜穩(wěn)定。這些更高性能的激光器能夠直接激發(fā)釹中的激光上能級4F3 / 2，減少了量子缺陷，從而改善了平均功率更高的基模提取，否則將會受到熱透鏡的限制。

　　到2010年初，我們目睹了單橫模1064nm激光器及相關(guān)系列頻率轉(zhuǎn)換激光器在可見光和紫外波段工作的大功率縮放趨勢。由于Nd：YAG和Nd：YVO4較長的高能態(tài)壽命，這些DPSSL的Q開關(guān)操作提供了高脈沖能量和峰值功率，非常適合于燒蝕材料加工和高精度微加工應(yīng)用。

　　光纖激光器。光纖激光器提供了一種轉(zhuǎn)換高功率半導(dǎo)體激光器亮度的更加有效的方式。盡管波長復(fù)用光學(xué)器件可以將亮度相對較低的半導(dǎo)體激光器轉(zhuǎn)換為較亮的半導(dǎo)體激光器，但這卻是以增加光譜寬度和光學(xué)機械復(fù)雜度為代價的。光纖激光器已被證明在光度轉(zhuǎn)換中特別有效。

　　在20世紀(jì)90年代引入的雙包層光纖使用由多模包層環(huán)繞的單模光纖，可以將更高功率，更低成本的多模半導(dǎo)體泵浦激光器高效地投入光纖，從而創(chuàng)造出一種更經(jīng)濟的方式來將高功率半導(dǎo)體激光器到轉(zhuǎn)換成更明亮的激光器。對于摻雜鐿(Yb)的光纖而言，該泵浦激發(fā)了以915 nm為中心的寬吸收或976 nm左右的較窄帶特征。隨著泵浦波長接近光纖激光器的激射波長，所謂的量子缺陷就會減少，從而效率最大化，余熱消散量最小化。

　　光纖激光器和二極管泵浦固體激光器都依賴于二極管激光亮度的改進。一般來說，隨著二極管激光器亮度的不斷改善，它們泵浦的激光器功率比例也越來越大。半導(dǎo)體激光器的亮度提升有利于促進更高效的亮度轉(zhuǎn)換。

　　正如我們所期待的那樣，空間和光譜亮度對未來的系統(tǒng)來說將是必要的，這將使固體激光器中具有窄吸收特征的低量子缺陷泵浦和直接半導(dǎo)體激光器應(yīng)用的密集波長多路復(fù)用方案成為可能。

　　市場和應(yīng)用

　　高功率半導(dǎo)體激光器的發(fā)展使得許多重要的應(yīng)用成為可能。這些激光器已經(jīng)取代了許多傳統(tǒng)技術(shù)，并實現(xiàn)了全新產(chǎn)品類別。

　　隨著每十年成本和性能10倍以上的提高，高功率半導(dǎo)體激光器以不可預(yù)知的方式破壞了市場的正常運行。雖然很難準(zhǔn)確預(yù)測未來的應(yīng)用情況，但回顧過去三十年的發(fā)展歷程，為下一個十年的發(fā)展提供框架可能性是非常有意義的(見圖2)。

　　圖2. 大功率半導(dǎo)體激光器亮度燃料應(yīng)用(每瓦亮度標(biāo)準(zhǔn)化成本)

　　20世紀(jì)80年代：光存儲和最初的小眾應(yīng)用。光存儲是半導(dǎo)體激光器行業(yè)的第一個大型應(yīng)用。就在霍爾最初展示了紅外半導(dǎo)體激光器之后不久，通用電氣公司的Nick Holonyak也展示了第一個可見紅光半導(dǎo)體激光器。二十年后，光盤(CD)被推向市場，隨后就出現(xiàn)了光存儲市場。

　　半導(dǎo)體激光器技術(shù)的不斷創(chuàng)新帶來了注入數(shù)字多功能光盤(DVD)和藍光光盤(BD)等光存儲技術(shù)的發(fā)展。這是半導(dǎo)體激光器的第一個大市場，但是通常適度的功率水平將其他應(yīng)用限制在了相對較小的利基市場，如熱敏打印、醫(yī)療應(yīng)用以及精選的航空和國防應(yīng)用等。

　　20世紀(jì)90年代：光網(wǎng)絡(luò)盛行。在20世紀(jì)90年代，半導(dǎo)體激光器成為通信網(wǎng)絡(luò)的關(guān)鍵。半導(dǎo)體激光器被用于通過光纖網(wǎng)絡(luò)傳輸信號，但是用于光放大器的較高功率的單模泵浦激光器對于實現(xiàn)光網(wǎng)絡(luò)的規(guī)?；约罢嬲С只ヂ?lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)的增長是至關(guān)重要的。

　　其帶來的電信行業(yè)繁榮影響深遠，以高功率半導(dǎo)體激光器行業(yè)最初的先驅(qū)之一的Spectra Diode Labs (SDL)為例。SDL成立于1983年，由美國Newport集團旗下的激光器品牌Spectra-Physics(光譜物理)和施樂(Xerox)合資組建，1995年上市，市值約1億美元。五年后，SDL在電信業(yè)高峰期間以超過400億美元的價格出售給JDSU，這也是歷史上最大的技術(shù)收購之一。不久之后，電信業(yè)泡沫破滅，摧毀了數(shù)萬億美元的資本，現(xiàn)在被視為歷史上最大的泡沫。

　　2000年代：激光成為一種工具。雖然電信市場泡沫的破滅極具破壞性，但對大功率半導(dǎo)體激光器的巨額投資為更廣泛的采用奠定了基礎(chǔ)。隨著性能和成本的提高，這些激光器在各種各樣的工藝中開始取代傳統(tǒng)的氣體激光器或其他能量轉(zhuǎn)換源。

　　半導(dǎo)體激光器已經(jīng)成為廣泛使用的工具。工業(yè)應(yīng)用范圍從傳統(tǒng)的制造工藝(如切割和焊接)到新的先進制造技術(shù)(如3D打印金屬部件的增材制造)等。微型制造應(yīng)用更加多樣化，因為諸如智能手機之類的關(guān)鍵產(chǎn)品已經(jīng)通過這些激光器而實現(xiàn)了商業(yè)化。航空航天和國防應(yīng)用涉及廣泛的關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用，未來還可能將包括下一代定向能源系統(tǒng)。

　　總結(jié)

　　50多年前，摩爾并未提出一個新的物理基本定律，而是對十年前最初研究過的集成電路提出了極大改進。他的預(yù)言持續(xù)了數(shù)十年，并帶來了一系列顛覆性的創(chuàng)新，而這些創(chuàng)新在1965年是不可想象的。

　　當(dāng)Hall在50多年前展示半導(dǎo)體激光器時，就引發(fā)了一場技術(shù)革命。與摩爾定律一樣，沒有人能夠預(yù)測大量創(chuàng)新所實現(xiàn)的高功率半導(dǎo)體激光器亮度隨后帶來的高速發(fā)展。

　　物理學(xué)中并沒有根本的法則來控制這些技術(shù)改進，但是持續(xù)的技術(shù)進展可能會推進激光器在亮度方面的提升。這種趨勢將會持續(xù)取代傳統(tǒng)技術(shù)，從而進一步改變事情的發(fā)展方式。對經(jīng)濟增長更為重要的是，高功率半導(dǎo)體激光器還將促進新事物的誕生。