我國(guó)“超級(jí)針”X射線(xiàn)成像系統(tǒng)成功實(shí)現(xiàn)自主研制

　　近日，中國(guó)電科38所發(fā)布自主研制的新一代無(wú)損檢測(cè)設(shè)備——“超級(jí)針”X射線(xiàn)成像系統(tǒng)，這是全國(guó)首臺(tái)“超級(jí)針”X射線(xiàn)成像系統(tǒng)。該系統(tǒng)擁有“火眼金睛”般的缺陷檢測(cè)能力，成像分辨率小于1微米。

　　隨著集成電路向高集成度、微型化方向發(fā)展，先進(jìn)封裝工藝對(duì)封裝檢測(cè)設(shè)備提出新的需求和挑戰(zhàn)。一方面，更精細(xì)的封裝尺度要求設(shè)備分辨率提升至亞微米級(jí)，但目前國(guó)際上可生產(chǎn)亞微米級(jí)分辨率設(shè)備的廠商屈指可數(shù);另一方面，隨著芯片制造及封裝過(guò)程中越來(lái)越多地使用硅、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料，對(duì)輕元素材料的檢測(cè)需求日益凸顯，對(duì)設(shè)備檢測(cè)范圍提出了更高要求。因此，更高分辨率、更高對(duì)比度、更大檢測(cè)范圍的X射線(xiàn)檢測(cè)設(shè)備，已成為集成電路封裝檢測(cè)行業(yè)發(fā)展的迫切需要。

　　微焦點(diǎn)X射線(xiàn)成像系統(tǒng)是工業(yè)無(wú)損檢測(cè)的常規(guī)必備設(shè)備，廣泛應(yīng)用于集成電路、電子器件等各種器材的無(wú)損檢測(cè)，能夠觀察物體內(nèi)部的精細(xì)結(jié)構(gòu)，其中X射線(xiàn)源的性能則直接決定了此類(lèi)設(shè)備的檢測(cè)能力。超級(jí)針是一種理論上的最佳電子源。

　　2011年，中國(guó)電科38所首次提出將超級(jí)針應(yīng)用于微焦點(diǎn)X射線(xiàn)源的開(kāi)發(fā)。經(jīng)過(guò)近十年的技術(shù)攻關(guān)，超級(jí)針X射線(xiàn)成像系統(tǒng)最終順利問(wèn)世。目前，中國(guó)電科38所針對(duì)該產(chǎn)品已申請(qǐng)30余項(xiàng)國(guó)內(nèi)外發(fā)明專(zhuān)利，其中申請(qǐng)美、日、歐等國(guó)際專(zhuān)利12項(xiàng)。

　　“超級(jí)針”X射線(xiàn)成像系統(tǒng)采用獨(dú)特的“超級(jí)針”X射線(xiàn)源專(zhuān)利技術(shù)，可在圖像增強(qiáng)器上形成被掃描物體的透視圖像。該設(shè)備采用全國(guó)首創(chuàng)的“超級(jí)針”X射線(xiàn)源，因而以“超級(jí)針”冠名，具有成像清晰、性能穩(wěn)定、潔凈度高、超低輻射、低能成像等優(yōu)點(diǎn)。

　　中國(guó)電科38所相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，基于超級(jí)針X射線(xiàn)源技術(shù)，可面向集成電路、軍工航天、汽車(chē)電子、醫(yī)療診斷等不同應(yīng)用領(lǐng)域，開(kāi)發(fā)系列超級(jí)針X射線(xiàn)成像設(shè)備，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品系列化、多樣化開(kāi)發(fā)，未來(lái)具有較大發(fā)展前景。