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          論SMI SM95D/G在充油芯體領(lǐng)域應(yīng)用

          作者:貝能國際有限公司 耿天祥 時(shí)間:2018-12-29 來源:電子產(chǎn)品世界 收藏

            作者:貝能國際有限公司 耿天祥

          本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/201812/396214.htm

            關(guān)鍵詞:

            引言:

            隨著電子技術(shù)及MEMS技術(shù)的發(fā)展,我們身邊越來越多的充斥著各種各樣的傳感器,如溫度、濕度、壓力、光學(xué)、磁性等,他們?cè)谖覀兩钪邪缪葜缍?、眼睛等非常重要的角色,今天我們的重點(diǎn)則是關(guān)于方面的應(yīng)用,目前在工業(yè)自動(dòng)化、石油化工、航空航天、電力、醫(yī)療、汽車尾氣檢測等行業(yè)應(yīng)用非常廣泛、而則是中非常重要的組成部分,目前核心基本以擴(kuò)散硅式設(shè)計(jì)為主,設(shè)計(jì)上更為便捷應(yīng)用上更為方便,本文將介紹基于公司的SM95系列微壓壓阻式硅傳感器在壓力芯體上的應(yīng)用。

            及壓力芯體的結(jié)構(gòu)及原理簡介:

            壓力芯體在壓力測量中充當(dāng)了壓力信號(hào)的初值反饋,最終壓力信號(hào)經(jīng)過校準(zhǔn)、調(diào)理等將信號(hào)給到中,當(dāng)壓力作用在測量膜片的表面時(shí),膜片產(chǎn)生微小的形變,測量膜片上的高精度電路將這個(gè)微小的形變變換成為與壓力成正比的高度線性并與激勵(lì)電壓也成正比的電壓信號(hào),然后將該信號(hào)給出,達(dá)到壓力測量的效果,一般由壓力、調(diào)制電路、連接器、安裝口、外殼等組成。其中壓力充油芯體最為重要,它決定了壓力變送器的精度、穩(wěn)定性等關(guān)鍵性能指標(biāo),其中圖一及圖二分別展示了一般壓力變送器的結(jié)構(gòu)圖及充油芯體圖,從變送器結(jié)構(gòu)圖中我們也可以清楚的看到變送器測量端壓力充油芯體的位置。

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            圖一

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            圖二

            壓力芯體是制造壓力傳感器及變送器的核心部件,作為一種高性能的敏感器件可以很方便的進(jìn)行信號(hào)放大處理,裝配成標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸出到變送器,將壓力敏感器件即壓力MEMS芯片(DIE)封裝到一定材料的基座中,外加壓力通過不銹鋼膜片、內(nèi)部密封然后充油,通過硅油傳遞到MEMS芯片上,MEMS芯片不直接接觸被測介質(zhì),形成壓力測量的全固態(tài)結(jié)構(gòu),所以適用于各種環(huán)境、包括惡劣的腐蝕介質(zhì)環(huán)境,MEMS芯片外加氟橡膠圈進(jìn)行壓力可靠密封裝配,然后將MEMS芯片測量值通過電壓信號(hào)傳輸出去,圖二外形圖展示了壓力芯體的結(jié)構(gòu),具有可靠性高、抗腐蝕、應(yīng)用廣泛等特點(diǎn)。

            系列微壓MEMS芯片介紹:

            SM95系列是一款硅型微壓電阻式壓力傳感芯片,其滿量程為0.15 到1.5PSI(1到 10 kPa),特別適用于OEM和高容量應(yīng)用,以DIE形式提供,可作為OEM系統(tǒng)的一部分貼裝在陶瓷基板或PCB基板上。此外還可以封裝到專有系列傳感器或特定應(yīng)用系列傳感器中,其結(jié)構(gòu)如圖三,以表壓及差壓形式提供,具有2*2mm封裝,適合用于微壓充油芯體領(lǐng)域。

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            圖三

            SM95系列采用壓阻式壓力測量,為全橋式測量方式,如圖四,其內(nèi)部等效方式如圖五,這種方式由于采用差分信號(hào)計(jì)算,有效的避免了壓力隨溫度變化的影響,在壓力測量上更加準(zhǔn)確,同時(shí)采用topside micromachined工藝技術(shù),有效的降低了生產(chǎn)成本,SM95系列的關(guān)鍵參數(shù)如圖六,其過載壓力達(dá)到8倍,爆破壓力達(dá)到10倍,處于行業(yè)領(lǐng)先地位。

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            圖四


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