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          三星首次將EUV技術(shù)應(yīng)用于DRAM生產(chǎn)
          
						
          
				作者：
				時間：2020-03-26
				來源：SEMI大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)
				
				
				
				
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          據(jù)ZDnet報道，三星宣布，已成功將EUV技術(shù)應(yīng)用于DRAM的生產(chǎn)中。
          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/202003/411363.htm
          三星已經(jīng)出貨了100萬個使用EUV工藝制造的10nm級DDR4 DRAM模塊，并得到了客戶的評估。三星表示，評估工作完成后，將為明年大規(guī)模生產(chǎn)新的DRAM鋪平道路。
          三星在平澤工廠的EUV專用V2生產(chǎn)線將于下半年開始生產(chǎn)DRAM模塊。該生產(chǎn)線預(yù)計將生產(chǎn)4代10nm級DDR5和LPDDR5。
          這是平澤工廠除7nm邏輯芯片外又一使用EUV技術(shù)生產(chǎn)的芯片，三星稱，EUV技術(shù)將使其單個12英寸晶圓的生產(chǎn)效率提升一倍。
          三星、英特爾和臺積電等全球半導(dǎo)體制造商預(yù)計都將擴大EUV技術(shù)在芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用。三星此前曾表示，計劃利用EUV技術(shù)生產(chǎn)3nm芯片。 
          
				
            
                
			
							
          
                
			              
              
            
          
		
          
		
          
		
          
		
          
		
          
			
            
				
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            			            三星
                        EUV
                        DRAM
                        
            
          
            
			
          
		
          	
		

	

          
	
	
          
		
          
			
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