積塔半導體上海臨港新廠投產
華大半導體旗下全資子公司上海積塔半導體有限公司(GTA Semiconductor)臨港新廠今天(6月30日)正式投產。成立于2017年的積塔半導體之“積塔”乃積沙成塔之意。2018年8月,總投資359億元在上海臨港開建積塔半導體特色工藝生產線,專注模擬電路與功率器件。
本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/202007/414949.htm2018年10月,積塔半導體與上海先進半導體合并,使積塔半導體擁有了臨港和漕河涇兩個廠區(qū)。而借助上海先進在模擬、高壓、功率器件制造研發(fā)幾十年經驗,為積塔半導體特色工藝生產線市場競爭力的確立打下了扎實基礎。
臨港產能布局致力于工業(yè)控制和汽車電子等高端應用的特色工藝生產線:8英寸生產線6萬片/月,12英寸特色工藝生產線3,000片/月,6英寸SiC生產線5,000片/月,目標是顯著提升中國功率器件(IGBT)、模擬電路、電源管理和傳感器等芯片的核心競爭力和規(guī)?;a能力。計劃于2020年開始一階段8英寸特色芯片工藝生產線投產,于2023年開展二階段12英寸特色芯片工藝生產線投產。
漕河涇廠區(qū)擁有5英寸、6英寸、8英寸產線各一條,年產等值8寸晶圓約78萬片,產品主要應用在工控、汽車、電力、能源等領域。上海先進擁有近30年的模擬、高壓、功率器件制造研發(fā)經驗,涵蓋BCD、HVCMOS、BiCMOS等工藝技術。
Power IC 技術工藝平臺符合汽車電子高可靠性和安全性標準要求的BCD工藝平臺;其IGBT工藝平臺,2004年5月生產了國內第一片IGBT2-1200V合格芯片,奠定了國內生產IGBT領先地位的基礎,后續(xù)重點開發(fā)600V/1200V Trench IGBT。TVS 特色工藝技術,已形成系列低壓/超低電容/低漏電TVS特色制造工藝。MOSFET工藝技術平臺,現已形成包括平面MOSFET、Trench MOSFET和Super-Junction MOSFET等在內的多種類MOSFET工藝平臺,同時正在開發(fā)中低壓屏蔽柵結構MOSFET(SGT MOSFET)工藝平臺。SiC工藝技術平臺,1200V JBS已處于開發(fā)階段,后續(xù)650V JBS和1200V/650V Planner/Trench MOSFET在計劃中。
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