意法半導(dǎo)體與A*STAR和ULVAC攜手合作，在新加坡成立世界首個(gè)“Lab-in-Fab”實(shí)驗(yàn)室，推進(jìn)壓電式MEMS技術(shù)應(yīng)用

橫跨多重電子應(yīng)用領(lǐng)域的全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體供應(yīng)商、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)的世界領(lǐng)導(dǎo)者意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics,簡(jiǎn)稱ST；紐約證券交易所代碼:STM) 于日前宣布，與新加坡A * STAR IME研究所和日本領(lǐng)先的制造工具供應(yīng)商ULVAC合作，在意法半導(dǎo)體新加坡晶圓廠內(nèi)聯(lián)合創(chuàng)辦一條以壓電式MEMS技術(shù)為重點(diǎn)研究方向的8英寸(200mm)晶圓研發(fā)生產(chǎn)線。這個(gè)全球首創(chuàng)的“Lab-in-Fab”研發(fā)生產(chǎn)線整合三個(gè)合作方在壓電材料、壓電式MEMS技術(shù)和晶圓制造工具領(lǐng)域的領(lǐng)先技術(shù)和優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)的研發(fā)能力，促進(jìn)新材料和工藝技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展，最終加快企業(yè)客戶的產(chǎn)品開發(fā)。

■   與A*STAR的微電子研究所（IME）和日本制造工具供應(yīng)商ULVAC(愛發(fā)科株式會(huì)社)合作，以壓電式MEMS技術(shù)為重點(diǎn)研發(fā)方向

■   首創(chuàng)概念，旨在加快概念驗(yàn)證到量產(chǎn)的轉(zhuǎn)化，并推動(dòng)壓電式MEMS在AR/VR、醫(yī)療和3D打印等新產(chǎn)品中的應(yīng)用

■   預(yù)計(jì)2021年第二季度產(chǎn)出第一批晶圓，2022年底開始量產(chǎn)

Lab-in-Fab實(shí)驗(yàn)室包括意法半導(dǎo)體在宏茂橋工業(yè)園區(qū)內(nèi)的一個(gè)新建潔凈室區(qū)，將配備三個(gè)合作方提供的工具設(shè)備和專用資源，為MEMS研發(fā)制程科學(xué)家和工程師提供工作場(chǎng)所。IME微電子在壓電式MEMS器件設(shè)計(jì)、工藝集成和系統(tǒng)集成方面的知識(shí)庫和產(chǎn)業(yè)驅(qū)動(dòng)力將為研發(fā)生產(chǎn)線的發(fā)展提供積極的增值作用。IME還將提供最先進(jìn)的工具設(shè)備，確保科技創(chuàng)新成果順利轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品，全部過程都在同一地點(diǎn)完成。新研發(fā)生產(chǎn)線還將利用意法半導(dǎo)體現(xiàn)有資源，發(fā)揮在同一園區(qū)內(nèi)的ST晶圓廠的規(guī)模經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢(shì)。預(yù)計(jì)“Lab-in-Fab”設(shè)施將在2021年第二季度建成啟用并產(chǎn)出首批晶圓，在2022年底實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。

意法半導(dǎo)體模擬器件、MEMS和傳感器(AMS)產(chǎn)品部總裁Benedetto Vigna表示： “我們與IME和ULVAC此前已有過較長(zhǎng)的合作經(jīng)驗(yàn)，這次新合作旨在共同創(chuàng)辦世界領(lǐng)先的壓電式MEMS材料、技術(shù)和產(chǎn)品研發(fā)中心。這個(gè)全球首創(chuàng)實(shí)驗(yàn)室將設(shè)在意法半導(dǎo)體的戰(zhàn)略要地新加坡工廠。Lab-in-Fab將讓我們的客戶能夠輕松完成從概念可行性研究到產(chǎn)品量產(chǎn)的轉(zhuǎn)化過程。”

此次合作可增強(qiáng)意法半導(dǎo)體新加坡公司現(xiàn)有的制造工藝組合，并加快前景廣闊的新應(yīng)用領(lǐng)域采用壓電式MEMS執(zhí)行器，新興應(yīng)用包括智能眼鏡、AR頭戴設(shè)備和激光雷達(dá)系統(tǒng)使用的MEMS微鏡；新興醫(yī)療設(shè)備使用的壓電微機(jī)械超聲波換能器（PMUT），以及商用和工業(yè)用3D打印機(jī)的壓電式打印頭。

IME執(zhí)行院長(zhǎng)Dim-Lee Kwong教授表示： “IME、ST和ULVAC之間的公私合作項(xiàng)目構(gòu)建了一個(gè)獨(dú)特的研發(fā)生產(chǎn)線，這個(gè)生產(chǎn)線將采用壓電材料開發(fā)創(chuàng)新產(chǎn)品，增強(qiáng)合作伙伴的競(jìng)爭(zhēng)力。這些努力將會(huì)讓高價(jià)值的研發(fā)活動(dòng)繼續(xù)扎根于新加坡，并證明新加坡仍是行業(yè)龍頭開展技術(shù)創(chuàng)新和發(fā)展業(yè)務(wù)的首選地區(qū)。A * STAR將致力于幫助本地中小企業(yè)開發(fā)、利用我們的技術(shù)。我們歡迎企業(yè)與IME合作，并利用我們的Lab-in -Fab實(shí)驗(yàn)室設(shè)施做概念驗(yàn)證?！?/p>

ULVAC執(zhí)行官、高級(jí)研究員Koukou SUU博士表示：“我們很高興成為ST和IME的“Lab-in-Fab”合作伙伴，為眾多前景廣闊的未來應(yīng)用開發(fā)先進(jìn)的壓電式MEMS產(chǎn)品，這也充分證明了ULVAC在壓電MEMS制造技術(shù)解決方案市場(chǎng)上的領(lǐng)先地位。我們期待與合作伙伴密切合作，使合作圓滿成功。”