壓電振動板電極變色了，用前一定仔細(xì)檢查 | 圖解MEMS壓力傳感器分類及應(yīng)用

1 壓電振動板的電極部分變色 (從銀色變成茶色)，會否影響產(chǎn)品性能?

DK工程師建議：

壓電振動板的電極是用銀造成，銀與空氣中的硫磺成分發(fā)生化學(xué)反應(yīng)導(dǎo)致變色。這種情況下，會對可焊性產(chǎn)生不良影響，所以請先確認(rèn)可焊性再進(jìn)行使用。

另外, 如果用手觸摸振動板，會留下指紋，這會導(dǎo)致生銹。請戴指套或者手套后再進(jìn)行處理。

如果發(fā)生這情況, 可以嘗試改變電容器的引腳間距，否則勉強(qiáng)插入時, 電容器很大機(jī)會承受過大的機(jī)械應(yīng)力而造成損害.

2 什么是 MEMS 壓力傳感器( MEMS pressure sensors)? 一般有多少類型及在應(yīng)用上有什么特點(diǎn)?

DK工程師建議：

MEMS全稱是Microelectromechanicalsystem (微機(jī)電系統(tǒng))， 其原理是結(jié)合半導(dǎo)體制程技術(shù)與精密機(jī)械技術(shù)，來制造微小元件及功能整合的微系統(tǒng)。MEMS壓力傳感器大致可分三大類型:

1）壓力計壓力測量(GaugePressure Measurement)， 如下圖1，原理是傳感半導(dǎo)體物料與大氣互通作比較，以大氣壓力作為參考點(diǎn)(reference)。

2）絕對壓力測量(AbsolutePressure Measurement)， 如下圖2，原理是傳感半導(dǎo)體物料存在于真空中, 以真空作為參考點(diǎn)(reference)。

3）分差壓力測量(Differentialpressure measurement)，如下圖3，原理是計算內(nèi)外傳感半導(dǎo)體物料的數(shù)據(jù)差距。

壓力計壓力測量方法是最基本的，它以海平面的標(biāo)準(zhǔn)大氣壓為標(biāo)準(zhǔn)(14.696 psi或760mmHg)，當(dāng)感測到相同壓力，表示感測面器件是在正常環(huán)境壓力，由于應(yīng)用簡單及直接，最常使用，但大氣壓力會隨著高度及天氣、溫度的變化而改變，故工程師要考慮這點(diǎn)。在高度變化的環(huán)境下, 絕對壓力測量是最常被采用的，但其缺點(diǎn)是運(yùn)算原理復(fù)雜。

分差壓力測量一般應(yīng)用在液體壓力上，基本原理簡單且容易應(yīng)用, 但也會受溫度的變化影響而造成誤差。