國(guó)產(chǎn)量測(cè)設(shè)備公司逐步取得突破

檢測(cè)和量測(cè)構(gòu)成半導(dǎo)體制造的質(zhì)量控制環(huán)節(jié)。檢測(cè)和量測(cè)是半導(dǎo)體加工過(guò)程中的兩大質(zhì)量控制環(huán)節(jié)（以下統(tǒng)稱(chēng)“量檢測(cè)”）。應(yīng)用于前道制程和先進(jìn)封裝的質(zhì)量控制根據(jù)工藝可細(xì)分為檢測(cè)（Inspection）和量測(cè)（Metrology）兩大環(huán)節(jié)。檢測(cè)指在晶圓表面上或電路結(jié)構(gòu)中，檢測(cè)其是否出現(xiàn)異質(zhì)情況，如顆粒污染、表面劃傷、開(kāi)短路等對(duì)芯片工藝性能具有不良影響的特征性結(jié)構(gòu)缺陷；量測(cè)指對(duì)被觀測(cè)的晶圓電路上的結(jié)構(gòu)尺寸和材料特性做出的量化描述，如薄膜厚度、關(guān)鍵尺寸、刻蝕深度、表面形貌等物理性參數(shù)的量測(cè)。

量檢測(cè)設(shè)備全球市場(chǎng)空間較大。根據(jù)SEMI預(yù)測(cè)，2022年全球半導(dǎo)體前道制造設(shè)備市場(chǎng)銷(xiāo)售額預(yù)計(jì)為1010億美元。參照Gartner的統(tǒng)計(jì)，量檢測(cè)等工藝控制設(shè)備在半導(dǎo)體設(shè)備中占比為11%，我們預(yù)計(jì)2022年全球量檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模為111億美元。假設(shè)中國(guó)大陸市場(chǎng)占全球比例為28%，則預(yù)計(jì)2022年中國(guó)大陸的量檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模在31億美元。

全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)呈現(xiàn)國(guó)外設(shè)備企業(yè)壟斷的格局。全球范圍內(nèi)主要檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)包括科磊半導(dǎo)體、應(yīng)用材料、日立等?？评诎雽?dǎo)體一家獨(dú)大，根據(jù)VLSIResearch的統(tǒng)計(jì)，其在2020年全球檢測(cè)與量測(cè)設(shè)備的合計(jì)市場(chǎng)份額占比為50.8%。2020年，全球前五大公司合計(jì)市場(chǎng)份額占比超過(guò)了82.4%，均來(lái)自美國(guó)和日本，市場(chǎng)集中度較高。

量檢測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率很低，未來(lái)有較大國(guó)產(chǎn)化空間。目前國(guó)內(nèi)主要的量檢測(cè)設(shè)備公司包括：中科飛測(cè)、上海精測(cè)、上海睿勵(lì)等，而這些公司的合計(jì)營(yíng)收體量占中國(guó)大陸半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)的份額較小，但呈現(xiàn)快速增長(zhǎng)趨勢(shì)。根據(jù)我們的測(cè)算，2021年，上述三家國(guó)產(chǎn)量檢測(cè)公司的半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收為5.13億元，占中國(guó)大陸的市場(chǎng)份額為2.7%，顯示量檢測(cè)設(shè)備目前的國(guó)產(chǎn)化率很低，而未來(lái)的潛在國(guó)產(chǎn)化空間較大。

國(guó)產(chǎn)量檢測(cè)公司逐步取得突破。中科飛測(cè)的無(wú)圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備和三維形貌量測(cè)設(shè)備已適用于2Xnm或以上制程工藝，套刻精度量測(cè)設(shè)備也有28nm以下產(chǎn)品在客戶產(chǎn)線驗(yàn)證中。精測(cè)半導(dǎo)體布局了晶圓缺陷檢測(cè)、關(guān)鍵尺寸測(cè)量、膜厚測(cè)量、形貌量測(cè)等多個(gè)產(chǎn)品，其中明場(chǎng)檢測(cè)、OCD、電子束缺陷復(fù)查均在國(guó)內(nèi)處于領(lǐng)先地位。睿勵(lì)科學(xué)儀器目前已有多臺(tái)光學(xué)膜厚測(cè)量設(shè)備和光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備出貨給國(guó)內(nèi)客戶，其中睿勵(lì)的光學(xué)膜厚測(cè)量設(shè)備已應(yīng)用于28nm及以上的芯片生產(chǎn)線中并在進(jìn)行14nm工藝驗(yàn)證，而其光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備目前最高檢測(cè)精度達(dá)到100nm，并獲得多臺(tái)訂單。