歷時 7 年研制，賽微電子 MEMS-OCS 光鏈路交換器件實現量產

2023 年 12 月 24 日，北京賽微電子股份有限公司發布關于全資子公司 MEMS-OCS 啟動量產的公告，全資子公司 Silex Microsystems AB 以 MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems 的縮寫，即微電子機械系統，簡稱為微機電系統）工藝為某客戶制造的 OCS（Optical Circuit Switch 的縮寫，即光鏈路交換器件）完成了工藝及性能驗證（工藝開發與試產的總耗費時間超過 7 年），并于 2023 年 12 月 22 日收到該客戶發出的批量采購訂單，瑞典 Silex 開始進行 MEMS-OCS 的商業化規模量產。

據介紹，該 MEMS-OCS 基于 8 英寸 MEMS 工藝和設計技術制造，結構復雜精密，是一組由指定數量平面鏡所構成的微鏡陣列，可用于精確調節光鏈路的折射方向，實現光鏈路之間的信號切換與雙向傳播，提高運算系統的整體性能及穩定性，同時降低系統成本與功耗，可在數據中心網絡、超算系統集群等場景中得到廣泛應用。

IT 之家查詢發現，北京賽微電子股份有限公司 2023 年 12 月 29 日又發布關于控股子公司 MEMS-IMU 通過驗證并啟動試產的公告，控股子公司賽萊克斯微系統科技（北京）有限公司代工制造的某款 MEMS-IMU（Inertial Measurement Unit 的縮寫，即慣性測量單元）通過了客戶驗證，賽萊克斯北京收到該客戶發出的采購訂單，啟動首批 MEMS-IMU 8 英寸晶圓的小批量試生產。

據介紹，IMU 是慣性測量定位的核心，是測量物體三軸姿態角（或角速率）及加速度的關鍵裝置。MEMS-IMU 基于 MEMS 工藝技術制造，具有體積小、重量輕、能耗低等特點，以微小形態采集運動載體的加速度與角速度等慣性信息，可實時輸出高精度的三維位置、速度、姿態等信息，并用于姿態平衡控制、導航定位、動作執行等環節。由于通過半導體工藝進行生產制造，MEMS-IMU 往往還可以集成多種 MEMS 慣性傳感器的功能，同時具備極好的環境適應性，可被廣泛應用于智能手機、可穿戴設備（包括 AR / VR / MR）、無人系統、智能駕駛、人形機器人等領域。