埃賽力達(dá)推出適用于340 nm-360 nm波長(zhǎng)范圍的LINOS UV F-Theta Ronar低釋氣透鏡

埃賽力達(dá)科技有限公司（Excelitas Technologies^?）是一家創(chuàng)新的致力于改變?nèi)藗兩畹南冗M(jìn)技術(shù)供應(yīng)商，為生命科學(xué)、先進(jìn)工業(yè)、下一代半導(dǎo)體、航空航天和國(guó)防終端領(lǐng)域的全球知名品牌提供服務(wù)。該公司近期推出了適用于252 mm中等焦距范圍的LINOS^? UV F-Theta Ronar低釋氣透鏡。新款LINOS F-Theta鏡頭專(zhuān)為配合埃賽力達(dá) LINOS UV 擴(kuò)束鏡而設(shè)計(jì)，與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比具有更優(yōu)異的耐用性，可支持激光材料加工中所需的更高的UV脈沖能量和更短的激光脈沖，可廣泛用于半導(dǎo)體、晶圓加工、電子顯示器和太陽(yáng)能電池制造等領(lǐng)域。

該透鏡通過(guò)顯著減少輔助材料和潔凈裝配工藝，實(shí)現(xiàn)了優(yōu)異的耐用性。其獨(dú)特的UV設(shè)計(jì)采用了高品質(zhì)熔融石英透鏡和高端寬帶透鏡鍍膜，不僅確保了出色的光學(xué)性能，還有效減少了背向反射。其優(yōu)化的包裝和防塵材料進(jìn)一步提升了鏡頭的低釋氣性能。此外，埃賽力達(dá)還優(yōu)化了生產(chǎn)、鍍膜、物流、倉(cāng)儲(chǔ)和裝配流程，從源頭到成品全程降低污染風(fēng)險(xiǎn)，確保組件在整個(gè)工作流程中的高質(zhì)量。

主要規(guī)格和特性：

●   減少釋氣：采用先進(jìn)的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)工藝，實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的低釋氣性能

●   優(yōu)化設(shè)計(jì)：適用于340 nm和 360 nm紫外波長(zhǎng)，采用高端寬帶鍍膜

●   精確的掃描性能： 掃描場(chǎng)內(nèi)的光斑尺寸變化較小，在10 mm掃描光圈下的掃描場(chǎng)范圍為 142 mm2 x 142mm2米，15 mm掃描光圈下的光斑尺寸可小至 11 μm

●   改進(jìn)的處理能力：可應(yīng)對(duì)高功率和短脈沖應(yīng)用需求

●   長(zhǎng)期光學(xué)穩(wěn)定性：采用先進(jìn)技術(shù)制造，確保鏡頭的耐用性和可靠性

●   優(yōu)化背向反射：有效減少掃描儀鏡面損傷，并延長(zhǎng)使用壽命

●   M85x1機(jī)械接口：便于輕松集成到各種系統(tǒng)中

“憑借其創(chuàng)新的減少釋氣設(shè)計(jì)和掃描場(chǎng)內(nèi)光斑尺寸變化，LINOS UV F-Theta Ronar低釋氣透鏡重新定義了激光材料加工的光學(xué)性能和可靠性。我們很高興將這一解決方案納入LINOS F-Theta-Ronar產(chǎn)品系列中?！卑Ｙ惲_(dá)產(chǎn)品經(jīng)理Matthias Koppitz表示