解析質(zhì)檢儀的光電讀出原理

　　如圖2所示，AA‘為顯微鏡的正確軸線（光軸與機(jī)械軸重臺），A與A’是物像共軛點，設(shè)物面標(biāo)志物為一個中心位于A的小圓孔，當(dāng)顯微鏡使用過程中，物鏡中心0產(chǎn)生了一個∠的橫向位移時，則A點的像將由A‘移到A“，即像方產(chǎn)生∠’的位移，∠‘泌＝s’/s＝卩，卩為顯微物鏡的橫向放大倍數(shù)。若在像平面上放置四象限硅光電池，如圖2所示，由于圓形像光斑中心的偏移，則破壞了原來光電池四部分輸出的平行狀態(tài)，將四部分輸出信號經(jīng)過前置放大（PM）后，按下列規(guī)則進(jìn)行邏輯運(yùn)算：

　　圖1 光學(xué)原理圖

　　值得強(qiáng)調(diào)指出，上述的“除法器”是針對質(zhì)檢儀鑒定后在使用過程中發(fā)現(xiàn)的不足而實施的重要改進(jìn)。除法器的功能在于消除由于電網(wǎng)波動及環(huán)境因素所引起的誤差，并使信號輸出與入射光強(qiáng)無關(guān)，便于定標(biāo)。