一種高精度微電流測量放大器的研制

介紹了用于電子束曝光機束斑和束流測量的高精度電流/電壓轉(zhuǎn)換放大器。根據(jù)束流極其微弱這一特定情況，為了得到超低漂移、超低噪聲和強抗干擾的高精度性能指標要求，采用了對稱補償電路設計方案，合理選用高精度集成電路作為電路的核心器件。為了加強抗干擾能力，對關(guān)鍵技術(shù)進行了針對性的有效處理。通過實際工作運行，證明效果良好工作可靠，滿足了電子束曝光機束斑和束流的高精度測量要求。