靜電耗散材料電阻和電阻率的測量

靜電耗散材料電阻和電阻率的測量
表面電阻/表面電阻率, 體積電阻/體積電阻率, 點對點電阻, 接地電阻的測量
l 表面電阻, 體積電阻, 點對點電阻, 接地電阻單位: Ω
l 表面電阻率單位: Ω/□
l 體積電阻率單位: Ω?cm
l 靜電耗散材料標準:
n 表面電阻: 104-1011Ω; 表面電阻率: 105-1012Ω/□
n 體積電阻: 104-1011Ω; 體積電阻率: 104-1011Ω?cm
n 點對點電阻：104-1011Ω
n 工作臺面接地電阻： 109 Ω
n 防靜電地板接地電阻： 109Ω
n 導靜電地板接地電阻： 106Ω
l 測試儀器：重錘式靜電電阻測試儀（測試方法：直流法）
表面電阻和表面電阻率測試
采用TOM600ME或TOM374靜電電阻儀，配RME 1同心圓重錘電極（如圖1）

體積電阻和體積電阻率測試
采用TOM600ME或TOM374靜電電阻儀，配ME250重錘電極1對（如圖2）