SiC元件“真命天子” 溝道MOSFET即將實用化

各SiC基板企業(yè)在‘ICSCRM 2013’上紛紛展出150mm(6寸)口徑的SiC基板(a)。在SiC基板上層積外延層的外延服務也開始支援150mm。昭和電工已于2013年10月推出了這項服務(b)。

現(xiàn)在，已經(jīng)投產(chǎn)6寸產(chǎn)品并開始供應樣品的主要基板企業(yè)只有美國科銳、新日鐵住金等少數(shù)幾家公司。為了改變這種格局，美國道康寧、美國貳陸(II-VI)、德國Si-Crystal等歐美企業(yè)，以及中國SICC、南韓SKC等眾多基板企業(yè)都已經(jīng)宣布投產(chǎn)6寸產(chǎn)品。匯總各公司的計劃來看，在2015年之前，供應6寸產(chǎn)品的企業(yè)將增加到近10家左右。除此之外，昭和電工還表明，在SiC基板上層積外延層的外延服務也將支援6寸基板。隨著各公司把6寸產(chǎn)品納入視野，基板企業(yè)之間的價格競爭將日趨激烈，功率元件企業(yè)將有望以更低的成本，采購到需要的基板。