光電子技術(shù)在傳感器技術(shù)中的應(yīng)用

　　五、傳感器系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)和特性傳感器系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)和特性如下： ①靈敏度為1me； ②空間分辨率是可變的，其范圍是0.1~2mm； ③應(yīng)變大小高達(dá)15%； ④測量位置靈活，光柵平面上任一點均可測量； ⑤可進(jìn)行動態(tài)和連續(xù)應(yīng)變測量； ⑥數(shù)據(jù)采集和處理都是自動化的； ⑦用戶易于觀察系統(tǒng)接口； ⑧結(jié)構(gòu)緊湊，體積小。

　　六、結(jié)論新型實用的應(yīng)變傳感器系統(tǒng)可以只利用一個位敏探測器，這時可用下式計算應(yīng)變： (17) 無規(guī)噪聲引起的應(yīng)變誤差的標(biāo)準(zhǔn)偏差為： (18) 對比方程(18)和方程(9)可知：利用兩個位敏探測器可大大減少無規(guī)噪聲誤差，也可顯著地減小由于激光束與試樣法線方向的偏離所引起的系統(tǒng)誤差。因此，利用兩個位敏探測器不僅可增加應(yīng)變測量靈敏度和精度，而且可消除無規(guī)噪聲誤差和系統(tǒng)噪聲誤差。這種新型應(yīng)變傳感器優(yōu)于現(xiàn)有的同類儀器，是精密測量領(lǐng)域的一種實用傳感器系統(tǒng)，可應(yīng)用于微電子學(xué)、高等材料力學(xué)、微米力學(xué)和納米力學(xué)等領(lǐng)域。