針對工業(yè)應(yīng)用的創(chuàng)新MEMS傳感器概述

　　了解傾度

　　測斜儀也叫傾斜傳感器，是一個可進行高精確度測量的高度集成、可編程的雙軸器件。它非常適合用于需要測量傾度變化的工業(yè)應(yīng)用，包括測量設(shè)備、工廠機械工具、衛(wèi)星天線穩(wěn)定性系統(tǒng)以及汽車車輪調(diào)準。

　　其輸出為完全補償?shù)闹苯菧y量，并且線性傾度誤差不到0.1°，比同類競爭傾斜傳感器至少精確兩倍(圖1)。這是由于其嵌入式控制器的原因，該控制器采用工廠安裝的校準系數(shù)，動態(tài)地感應(yīng)系統(tǒng)環(huán)境并補償直接數(shù)字角輸出，從而將電壓、溫度、角度和其它變量的變化計算在內(nèi)。

　　“大多數(shù)工業(yè)客戶都沒有校準慣性傳感器所需的裝置。他們需要一個經(jīng)過完全校準和測試的器件，”Analog Devices公司iSensor業(yè)務(wù)開發(fā)經(jīng)理Bob Scannell表示，“他們知道他們將從這個器件獲得一定級別的精確度。通過保證測斜儀的極高精確度，我們從本質(zhì)上降低了這個客戶群體的使用障礙?！?/P>

　　盡管尺寸總是無關(guān)緊要，但是ADIS16209的尺寸極小，為9.2×9.2×3.9mm，比功能相同的測斜儀小100倍左右。該器件基于公司的iMEMS內(nèi)核，在水平安裝時可以測量±30°范圍的雙軸傾斜。由于其獨特的雙模操作，它支持整個360°范圍的垂直安裝單軸實現(xiàn)。

　　可調(diào)諧數(shù)字傳感器數(shù)據(jù)通過工業(yè)標準串行外設(shè)接口(SPI)端口輸出，該端口能以0.025°的精度測得傾度，以0.244mg的精度測得加速度。其千片批量單價為34.40美元。

　　保持清潔

　　Omron的D6F-P MEMS流速傳感器的亮點在于它集成了一個獨特的doublecyclone粉塵分離系統(tǒng)(DSS)。這使得該傳感器甚至能夠在HVAC和變風量(VAV)系統(tǒng)等滿是灰塵的環(huán)境下通過使微粒遠離MEMS傳感芯片來提供精確的結(jié)果。

　　流速傳感器甚至可以在極低的流速下以高精確度和可重復(fù)性提供溫度補償?shù)脑鰪娸敵鲂盘枴＠?，這種精確度在復(fù)雜的地區(qū)溫度控制系統(tǒng)中非常重要，在這些系統(tǒng)中，新鮮空氣的正常入口需要避免“不良建筑物”。該器件具有緊湊的17×22mm占位面積，并且PCB終端允許風門控制模塊直接與電路板相連。

　　通過設(shè)計，D6F-P的各批之間非常一致，不需要重新校準。此外，同一側(cè)具有兩個口便于連接，不會使管子紐結(jié)。規(guī)格包括標準狀態(tài)下每分鐘流過+1.0公升氣體(SLM)、壓力范圍為0.84in/H2O，最大壓力為50kPa (200in/H2O)，模擬輸出信號為0.5～2.5V dc(0～0.5負流量指示)。

　　雖然這些器件可以提供諸多優(yōu)于差壓傳感器的優(yōu)勢，但是由于成本原因MEMS流速傳感器未被廣泛采用。而D6F-P則具備成本效益，百片批量單價為47美元左右。其應(yīng)用包括風門控制、通風口罩、濾清器阻塞檢測、醫(yī)療設(shè)備、呼吸器和通風設(shè)備、肺活量計、持續(xù)氣道正壓通氣(CPAP)設(shè)備、分析設(shè)備、環(huán)境分析儀和氣相色譜儀。