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          微流量計量方法研究

          作者: 時間:2013-10-11 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏
          目前,設(shè)備正引起越來越多的學(xué)者的關(guān)注,1989年在美國鹽湖城會議上,首次提出MEMS概念:Micro-Electro-MechanicalSystems,即系統(tǒng),這是指特征尺度在1μm~1mm之間集電子、機械于一身的器件。的研究是制造設(shè)備的基礎(chǔ),而微燃料的精確計量又是對進行實驗研究的前提。測量與控制系統(tǒng)是微機械研究的一個重要方向,也是微流體精密測量與控制的一個主要技術(shù)手段。系統(tǒng)研究的技術(shù)背景是微機械加工技術(shù)的成熟,應(yīng)用背景是一些常規(guī)流體系統(tǒng)的流量和粘度要求不能滿足的特殊場合。在系統(tǒng)的研究成熟后,它甚至可以替代現(xiàn)在的一些產(chǎn)品。微流體系統(tǒng)的流量在nL/min~L/min量級,由于尺寸微小,可以減少系統(tǒng)的無效體積,降低能耗,提高響應(yīng)速度。

          在前期進行的微尺度擴散燃燒實驗中,我們對微火焰的各方面特性有了初步了解,隨著實驗向更細(xì)的方面進行,實現(xiàn)對微流量的精確計量將是一個關(guān)鍵的環(huán)節(jié)。因為微流量的實際供應(yīng)值和計量值之間的誤差大小將直接影響到實驗結(jié)果的準(zhǔn)確性。雖然國內(nèi)外對微流量測量的研究起步相對較晚,隨著理論研究的深入,實踐經(jīng)驗的積累,對微流量測量的難度和存在的問題有了更具體和更深刻的認(rèn)識,通過不斷地改進和完善,使得微流量測量技術(shù)不斷得到發(fā)展。

          1 液體微燃料的計量

          市面上國產(chǎn)一般最小流量只能達(dá)到每分鐘幾百毫升,進口流量計一般最小流量每分鐘幾十毫升,但價格昂貴;而一般的標(biāo)準(zhǔn)差壓流量計;如板孔式、噴嘴式、文丘里管式等,其額定流量較大,測量精度較低,通常誤差大于5%。不能滿足液體微流量計量的要求。

          1.1 熱式液體質(zhì)量微流量儀表

          中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會流量儀表專業(yè)協(xié)會的專家對熱式流量計的測量原理、性能和應(yīng)用作了概要介紹。

          熱式流量計從測量原理出發(fā),可分為兩類:1)利用流動流體傳遞熱量改變測量管的管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)的熱分布流量計,以前稱為量熱式流量計;2)利用熱散消(冷卻)效應(yīng)的金氏定律的熱式質(zhì)量流量計,其結(jié)構(gòu)特征為測溫元件插入流量傳感器測量管或管道內(nèi),稱為插入型熱式流量計。但現(xiàn)有液體微小流量的熱式流量計均屬熱分布流量計。

          圖1為加溫型熱式流量計原理簡圖,圖2是利用帕耳帖效應(yīng)的致冷型原理圖。加溫型熱式液體質(zhì)量流量計市場上已有的型號有荷蘭BronkhorstH-iTech公司的Liqu-iFlow型和L-Flow型,美國Brooks公司的Flomega型;致冷型熱式液體質(zhì)量流量計市場上見到的有美國Estech公司LF系列,流量在0.01g/min~100g/min范圍內(nèi)有9種滿度規(guī)格,響應(yīng)時間約2s。熱式液體質(zhì)量微流量計適用于測量液態(tài)氣體,藥液混合配比,原料氣化供給系統(tǒng)。體積流量小到10-6L/min~10-3L/min數(shù)量級之間,或質(zhì)量流量10-6kg/min~10-3kg/min。

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          圖1 加溫型原理簡圖

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          圖2 致冷型原理簡圖

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