提高測量技術(shù)的重要性
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用于角度測量的圓編碼器（角度傳感器）也已開發(fā)出可進行絕對測量的新產(chǎn)品。如海登海因公司已開發(fā)出可檢測絕對位置角度的絕對測量型圓編碼器RCN827，其特點是：①采用φ100mm大口徑中空軸；②外表設(shè)有油槽，可排除冷卻潤滑液；③配有自共振頻率范圍廣的軟件，可控制性能良好；④最高操作速度300rpm；⑤最小分辨力為27bit/r。
為了滿足設(shè)備小型化的測量要求，西鐵城鐘表公司開發(fā)出30×16.5mm極小尺寸的長編碼器測量單元，最小讀數(shù)1μm，量程3mm。
在齒輪測量方面，對形狀精度要求極為嚴格，大阪精密機械公司開發(fā)出一種高精度齒輪測量儀MGL－26（見圖1），其特點是：①采用高精度激光位置檢測傳感器，可精密測量出齒面形狀；②可自動計算出誤差值；③由于采用激光測量，可避免過去測量機驅(qū)動系統(tǒng)產(chǎn)生的振動；④測量重復(fù)精度0.3μm，最小分辨力達1nm。
微細、小型零件的測量不斷增多
在圓度、圓柱度測量儀方面，對其測量精度的要求進一步提高，尤其是隨著微小孔和微細零件測量需求的增多，各公司相繼開發(fā)出能夠滿足高精度測量指標(biāo)的產(chǎn)品。
Taylor Hobson公司開發(fā)出一種全自動圓度測量儀Talyrond295，其特點是：①依靠高速調(diào)同心和調(diào)水平機構(gòu)，工件能很容易的迅速調(diào)整安裝。由于工件和儀器發(fā)生干涉的可能性小，測量范圍廣；②采用新開發(fā)的可動防振臺、防風(fēng)罩，測量精度穩(wěn)定；③在機器校正方面，已獲得英國UKAS（英國檢測協(xié)會）的檢測鑒定保證書規(guī)定的各種相關(guān)數(shù)據(jù)，便于用戶購置該機后，進行對比檢測；④配有高速找正機構(gòu)及水平測量器，工件可快速定位進行測量。該公司負責(zé)人指出：“目前，圓度測量儀和表面粗糙度檢查儀雖已制定了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，但只能在表面質(zhì)量和圓度精度測量方面滿足用戶的需要。隨著自動化的迅速進展，廣大用戶要求快速測量工件的整體形狀精度，這已成為該領(lǐng)域近期的發(fā)展趨勢。”“該領(lǐng)域目前正由接觸式測量向非接觸測量過渡，Taylor Hobson公司開發(fā)出一種綜合測量儀CLI 2000，可在大范圍（□200mm）采用接觸式和非接觸式兩種方式進行測量。公司還銷售一種與超精密鏡面加工機床NANOFORM850（納米級）配套的測量儀，目前，公司正以超精密測量技術(shù)為戰(zhàn)略性開發(fā)方向?！?
在表面粗糙度測量方面，各公司已開發(fā)出能一次將表面粗糙度和輪廓形狀檢測出來的表面形狀測量儀。如三豐公司的CS-5000CNC，可自動測量工件的表面形狀，而且可同時對多個同一類型或不同類型工件進行測量。東京精密公司開發(fā)出一種牌號為SURFCOM 2000 DX的測量儀，驅(qū)動部分采用直線電機，可實現(xiàn)低振動高速驅(qū)動，測量精度和測量效率均大幅度提高。
激光測量系統(tǒng)方面，雷尼肖公司開發(fā)的ML 10測量系統(tǒng)適用于機械加工現(xiàn)場，可保持很高的可靠性，定位精度為±0.7ppm（0～40℃條件下），分辨力為0.001μm，可用于超精密測量領(lǐng)域。東京貿(mào)易技術(shù)系統(tǒng)公司的Leica激光跟蹤儀，利用激光線性光傳感器進行非接觸測量，測量范圍的半徑達40m，測量精度為25μm/2.5m。
在圖像測量系統(tǒng)方面，三豐公司開發(fā)出一種快速掃描系統(tǒng)Quick vision，它可以不停止地進行高速圖像測量，測量效率比過去提高數(shù)倍。YKT公司開發(fā)出的顯微攝像系統(tǒng)，是在美國OGP公司生產(chǎn)的直接錄像顯微鏡（VDM）上使用配置光纖光源的EDF鏡片，能顯示出大深度小孔和看不見的被測物體，獲得彩色三維圖像。
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