提高測(cè)量技術(shù)的重要性
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用于角度測(cè)量的圓編碼器（角度傳感器）也已開發(fā)出可進(jìn)行絕對(duì)測(cè)量的新產(chǎn)品。如海登海因公司已開發(fā)出可檢測(cè)絕對(duì)位置角度的絕對(duì)測(cè)量型圓編碼器RCN827，其特點(diǎn)是：①采用φ100mm大口徑中空軸；②外表設(shè)有油槽，可排除冷卻潤(rùn)滑液；③配有自共振頻率范圍廣的軟件，可控制性能良好；④最高操作速度300rpm；⑤最小分辨力為27bit/r。
為了滿足設(shè)備小型化的測(cè)量要求，西鐵城鐘表公司開發(fā)出30×16.5mm極小尺寸的長(zhǎng)編碼器測(cè)量單元，最小讀數(shù)1μm，量程3mm。
在齒輪測(cè)量方面，對(duì)形狀精度要求極為嚴(yán)格，大阪精密機(jī)械公司開發(fā)出一種高精度齒輪測(cè)量?jī)xMGL－26（見圖1），其特點(diǎn)是：①采用高精度激光位置檢測(cè)傳感器，可精密測(cè)量出齒面形狀；②可自動(dòng)計(jì)算出誤差值；③由于采用激光測(cè)量，可避免過去測(cè)量機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)產(chǎn)生的振動(dòng)；④測(cè)量重復(fù)精度0.3μm，最小分辨力達(dá)1nm。
微細(xì)、小型零件的測(cè)量不斷增多
在圓度、圓柱度測(cè)量?jī)x方面，對(duì)其測(cè)量精度的要求進(jìn)一步提高，尤其是隨著微小孔和微細(xì)零件測(cè)量需求的增多，各公司相繼開發(fā)出能夠滿足高精度測(cè)量指標(biāo)的產(chǎn)品。
Taylor Hobson公司開發(fā)出一種全自動(dòng)圓度測(cè)量?jī)xTalyrond295，其特點(diǎn)是：①依靠高速調(diào)同心和調(diào)水平機(jī)構(gòu)，工件能很容易的迅速調(diào)整安裝。由于工件和儀器發(fā)生干涉的可能性小，測(cè)量范圍廣；②采用新開發(fā)的可動(dòng)防振臺(tái)、防風(fēng)罩，測(cè)量精度穩(wěn)定；③在機(jī)器校正方面，已獲得英國(guó)UKAS（英國(guó)檢測(cè)協(xié)會(huì)）的檢測(cè)鑒定保證書規(guī)定的各種相關(guān)數(shù)據(jù)，便于用戶購(gòu)置該機(jī)后，進(jìn)行對(duì)比檢測(cè)；④配有高速找正機(jī)構(gòu)及水平測(cè)量器，工件可快速定位進(jìn)行測(cè)量。該公司負(fù)責(zé)人指出：“目前，圓度測(cè)量?jī)x和表面粗糙度檢查儀雖已制定了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，但只能在表面質(zhì)量和圓度精度測(cè)量方面滿足用戶的需要。隨著自動(dòng)化的迅速進(jìn)展，廣大用戶要求快速測(cè)量工件的整體形狀精度，這已成為該領(lǐng)域近期的發(fā)展趨勢(shì)?！薄霸擃I(lǐng)域目前正由接觸式測(cè)量向非接觸測(cè)量過渡，Taylor Hobson公司開發(fā)出一種綜合測(cè)量?jī)xCLI 2000，可在大范圍（□200mm）采用接觸式和非接觸式兩種方式進(jìn)行測(cè)量。公司還銷售一種與超精密鏡面加工機(jī)床NANOFORM850（納米級(jí)）配套的測(cè)量?jī)x，目前，公司正以超精密測(cè)量技術(shù)為戰(zhàn)略性開發(fā)方向。”
在表面粗糙度測(cè)量方面，各公司已開發(fā)出能一次將表面粗糙度和輪廓形狀檢測(cè)出來的表面形狀測(cè)量儀。如三豐公司的CS-5000CNC，可自動(dòng)測(cè)量工件的表面形狀，而且可同時(shí)對(duì)多個(gè)同一類型或不同類型工件進(jìn)行測(cè)量。東京精密公司開發(fā)出一種牌號(hào)為SURFCOM 2000 DX的測(cè)量?jī)x，驅(qū)動(dòng)部分采用直線電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)低振動(dòng)高速驅(qū)動(dòng)，測(cè)量精度和測(cè)量效率均大幅度提高。
激光測(cè)量系統(tǒng)方面，雷尼肖公司開發(fā)的ML 10測(cè)量系統(tǒng)適用于機(jī)械加工現(xiàn)場(chǎng)，可保持很高的可靠性，定位精度為±0.7ppm（0～40℃條件下），分辨力為0.001μm，可用于超精密測(cè)量領(lǐng)域。東京貿(mào)易技術(shù)系統(tǒng)公司的Leica激光跟蹤儀，利用激光線性光傳感器進(jìn)行非接觸測(cè)量，測(cè)量范圍的半徑達(dá)40m，測(cè)量精度為25μm/2.5m。
在圖像測(cè)量系統(tǒng)方面，三豐公司開發(fā)出一種快速掃描系統(tǒng)Quick vision，它可以不停止地進(jìn)行高速圖像測(cè)量，測(cè)量效率比過去提高數(shù)倍。YKT公司開發(fā)出的顯微攝像系統(tǒng)，是在美國(guó)OGP公司生產(chǎn)的直接錄像顯微鏡（VDM）上使用配置光纖光源的EDF鏡片，能顯示出大深度小孔和看不見的被測(cè)物體，獲得彩色三維圖像。
評(píng)論