氣電組合測量技術

　　氣電組合測量儀是應用氣動測量的方法，在檢測時自動將工件尺寸的微小變化轉換成空氣壓力的變化，然后通過氣電轉換裝置將空氣壓力的變化轉換成電量的變化，再經邏輯放大運算處理后用數字顯示出來的高精度自動檢測儀器。

　　例如用它測世圖3所示曲柄工件上直徑20毫米的孔與直徑25毫米的軸的平行度(允許平行度誤差為100:0.02)。如圖4所示，采用軸為測t墓準，將工件2上的軸裝入!儀體3的定位孔中，同時把雙管測頭1擂入被測孔內。若被測孔軸心線不平行于墓準軸心線，則雙管測頭的測量示值不同，為了將這兩個不同的空氣壓力量轉換成電信號，氣電組合量儀用了兩個氣電轉換器，分別申接于兩個測頭氣管中。氣電轉換器的結構工作原理如圖5所示。

　　氣電轉換器工作

　　圖6一電感測微儀工作原理方框圖氣電組合測t儀具有許多優(yōu)點。其最小尺寸分辮率為0.1微米，信號穩(wěn)定性為2微米/8小時，測量性能可靠，操作使用方便，適用范圍廣，既適用于大批量生產測量，又適用于刁嗽t生產測量。但氣電組合量儀的價格較貴，所以目前主要使用在成批生產的測量中.可以相信，隨著我國電子工業(yè)、電子儀表制造業(yè)和檢測量具工業(yè)的發(fā)展，這種氣電組合量儀將會被廣泛應用.時，氣流經過濾器和穩(wěn)壓器形成清潔穩(wěn)定的壓縮空氣流送入氣電轉換器內(如圖5中箭頭所示)，進入的氣流分為兩路，一路經噴嘴l進人波紋管3的內腔，經由排氣噴嘴7排入大氣中;另一路經進氣噴嘴2進人波紋管3的外腔，從測量噴嘴6噴出。由于工件被測尺寸的變化，測量噴嘴與工件之間的間隙也發(fā)生變化，從而改變了波紋管3內外腔原來調定的空氣壓力差，使波紋管3沿軸向產生伸縮，并帶動磁芯4位移，使感應線圈5中的電感量發(fā)生變化，電感量的變化被送到電感測微儀中。由于波紋管在氣壓微小變化的作用下也會產生伸縮，因此測量靈敏度高，測量精度也高。

　　為了將電感量的變化進行邏輯運算處理，并將處理結果用數字顯示出來，氣電組合量儀將兩個氣電轉換器的電信號輸出端同時接入一個數顯電感測微儀輸入端中運算處理，由儀器將測量結果用數字顯示出來。電感測微儀工作原理方框圖如圖6所示。

　　氣電組合測量儀具有許多優(yōu)點。其最小尺寸分辮率為0.1微米，信號穩(wěn)定性為2微米/8小時，測量性能可靠，操作使用方便，適用范圍廣，既適用于大批t生產測量，又適用于小批量生產測量。但氣電組合量儀的價格較貴，所以目前主要使用在成批生產的測量中.可以相信，隨著我國電子工業(yè)、電子儀表制造業(yè)和檢測量具工業(yè)的發(fā)展，這種氣電組合量儀將會被廣泛應用.