黃河公司啟動國家科技重大專項電子級多晶硅材料研發(fā)

　　9月16日，國家科技重大專項《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》(即：國家02專項)電子級多晶硅材料研發(fā)工作在黃河公司新能源分公司啟動。

　　該項目由黃河公司新能源分公司和光伏技術(shù)中心共同承擔(dān)，針對40納米集成電路用12英寸硅單晶產(chǎn)品進行研發(fā)。公司2500噸/年多晶硅項目是2014年工信部正式公布的109家符合《光伏制造行業(yè)規(guī)范條件》的首批企業(yè)之一，也是全國唯一一家能夠生產(chǎn)半導(dǎo)體級一等品多晶硅的企業(yè)，成功填補了國內(nèi)半導(dǎo)體應(yīng)用材料的空白。

　　此次黃河公司承擔(dān)的40納米集成電路用12英寸硅單晶產(chǎn)品對純度和其參數(shù)有嚴(yán)格要求，該項目是通過精餾系統(tǒng)和還原爐系統(tǒng)生產(chǎn)過程中關(guān)鍵技術(shù)研究及工藝改進，來提高中間產(chǎn)品純度，并通過完善對中間產(chǎn)品和氫氣等關(guān)鍵材料的分析方法實現(xiàn)全過程質(zhì)量控制,完成產(chǎn)品質(zhì)量整體提升，預(yù)計2016年12月完成。項目的成功實施將打破中國40納米集成電路用12英寸硅單晶產(chǎn)品完全依靠國外進口的歷史。

　　據(jù)悉，公司申報的國家科技重大專項《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》(02專項)電子級多晶硅材料研發(fā)項目于今年5月26日由專項實施管理辦公室正式批復(fù)同意，該項目將通過事后立項事后補助的方式，獲得國家財政補助。

　　新聞鏈接：02專項，即：《極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》項目，因次序排在國家重大專項所列16個重大專項第二位，在行業(yè)內(nèi)被稱為“02專項”。

　　重大專項是為了實現(xiàn)國家目標(biāo)，通過核心技術(shù)突破和資源集成，在一定時限內(nèi)完成的重大戰(zhàn)略產(chǎn)品、關(guān)鍵共性技術(shù)和重大工程，是我國科技發(fā)展的重中之重。《國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要(2006-2020)》確定了核心電子器件、高端通用芯片及基礎(chǔ)軟件，極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝，新一代寬帶無線移動通信，高檔數(shù)控機床與基礎(chǔ)制造技術(shù)，大型油氣田及煤層氣開發(fā)，大型先進壓水堆及高溫氣冷堆核電站，水體污染控制與治理，轉(zhuǎn)基因生物新品種培育，重大新藥創(chuàng)制，艾滋病和病毒性肝炎等重大傳染病防治，大型飛機，高分辨率對地觀測系統(tǒng)，載人航天與探月工程等16個重大專項，涉及信息、生物等戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，能源資源環(huán)境和人民健康等重大緊迫問題，以及軍民兩用技術(shù)和國防技術(shù)。