ST宣布其壓電式MEMS技術(shù)進(jìn)入商用階段

　　意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics，簡(jiǎn)稱ST)宣布，其創(chuàng)新的壓電式MEMS 技術(shù)已進(jìn)入商用階段。創(chuàng)新的壓電式技術(shù)(piezoelectric technology)憑藉意法半導(dǎo)體在MEMS設(shè)計(jì)和制造領(lǐng)域的長期領(lǐng)導(dǎo)優(yōu)勢(shì)，將可創(chuàng)造更多的新興應(yīng)用商機(jī)。意法半導(dǎo)體的薄膜壓電式(Thin-Film Piezoelectric，TFP) MEMS技術(shù)是一個(gè)可立即使用且可任意客制化的平臺(tái)，使意法半導(dǎo)體能與全球客戶合作開發(fā)各種MEMS應(yīng)用產(chǎn)品。

　　poLight是首批采用意法半導(dǎo)體的薄膜壓電式(TFP)技術(shù)的企業(yè)，其創(chuàng)新的TLens (可調(diào)式鏡頭)透過壓電式致動(dòng)器(piezoelectric actuator)改變透明聚合薄膜(transparent polymer film)的形狀，模擬人眼對(duì)焦功能。這項(xiàng)應(yīng)用被視為相機(jī)自動(dòng)對(duì)焦(AFs)的最佳解決方案。而目前的自動(dòng)對(duì)焦功能仍主要依賴于體積較大、耗電量高且成本昂貴的音圈電動(dòng)馬達(dá)(VCM)。

　　意法半導(dǎo)體最新薄膜壓電式MEMS技術(shù)平臺(tái)試產(chǎn)線(pilot line)的部分資金來自歐洲LAB4 MEMS補(bǔ)助計(jì)畫。這項(xiàng)技術(shù)將為致動(dòng)器帶來更多具發(fā)展?jié)摿Φ膽?yīng)用，例如商用、工業(yè)用和3D列印的噴墨印頭(inkjet printhead)，甚至是用于能源收集(energy harvesting)的壓電式感測(cè)器。意法半導(dǎo)體預(yù)計(jì)于2015年中為試用客戶提供薄膜壓電式MEMS產(chǎn)品。

　　壓電式效應(yīng)是指某些特定材料受到外部機(jī)械壓力后所產(chǎn)生的物理現(xiàn)象。(又稱正壓電式效應(yīng))。反之，某些材料在被施加電場(chǎng)后會(huì)呈現(xiàn)線性擴(kuò)縮(又稱反壓電式效應(yīng))。這種現(xiàn)象被廣泛用于各項(xiàng)應(yīng)用中，從單純的打火機(jī)到較復(fù)雜的掃描穿隧式顯微鏡(Scanning Tunneling Microscope，STM)。然而，現(xiàn)有的應(yīng)用設(shè)計(jì)多數(shù)采用體積較大且成本昂貴的陶瓷。意法半導(dǎo)體的薄膜壓電式 MEMS技術(shù)具備低功耗和高速壓電式反應(yīng)以及半導(dǎo)體制造技術(shù)的低成本優(yōu)勢(shì)。